用于电子部件接触的具有平面无偏压弹簧元件的探针、制造这种探针的方法、以及使用这种探针的方法技术

用于接触电子部件的探针阵列，包括用于在两个电子电路元件之间进行接触的多个探针和阵列板安装和保持构造。探针可包括从探针的主体部分（3504）横向延伸的一个或多个安装特征，并且下阵列板（3540‑L）和上阵列板（3540‑U）结合起来捕获：(1)安装特征中的至少一个，以抑制探针主体相对于阵列板的过度向下竖直移动，(2)安装特征中的至少一个，以抑制探针主体相对于阵列板的过度向上竖直运动，以及(3)安装特征中的至少一个，以抑制探针相对于阵列板的过度横向移动，并且其中，至少一个下阵列板和上阵列板在堆叠组件中彼此纵向接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术的实施例涉及微探针（例如，用于集成电路的晶片级测试或插座测试，或用于与pcb或其他电子部件进行电气连接），更特别地，涉及销状微探针（即，具有竖向或纵向高度的微探针，其高度大于其宽度（例如，在一些实施例中为5倍，在其他实施例中为10倍，在又其他实施例中为20倍））或按钮状探针，其中弹簧元件在无偏压状态下具有平面构造。在一些实施例中，微探针至少部分地通过电化学制造方法制成，更特别地，通过多层、多材料电化学制造方法制成，并且其中，在一些实施例中，在保持阵列结构的同时多个探针被投入使用，所述阵列结构包括一个或多个具有通孔的板，所述通孔与探针和/或其他阵列保持结构的特征接合。

技术介绍

1、探针：

2、商业上已经使用或提出了许多电接触探针和销构造，其中一些可能符合现有技术，而其他则不符合现有技术。例如，专利公开号us 2005-0104609、us 2006-0006888、us2005-0184748、us 2006-0108678、us 2006-0238209和专利号us 7,640,651、us 7,265,565、us 7,412,7本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针阵列，其特征在于，所述探针阵列包括：

2.根据权利要求1所述的探针阵列，其特征在于，所述多个探针(3500)中的每一个包括至少一个下保持特征(3501)，所述至少一个下保持特征被构造成至少接合所述下阵列板(3540-L)并且包括至少一个横向延伸特征，所述至少一个横向延伸特征从相应的探针(3500)的主体(3504)突出，所述至少一个横向延伸特征具有的尺寸和构造限制相应的探针(3500)能够插入到所述下阵列板的下板探针孔(3541-L)中的纵向范围，所述至少一个下保持特征（3501）作为所述安装特征中的一个。

3.根据权利要求2所述的探针阵列，其特征在于...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种探针阵列，其特征在于，所述探针阵列包括：

2.根据权利要求1所述的探针阵列，其特征在于，所述多个探针(3500)中的每一个包括至少一个下保持特征(3501)，所述至少一个下保持特征被构造成至少接合所述下阵列板(3540-l)并且包括至少一个横向延伸特征，所述至少一个横向延伸特征从相应的探针(3500)的主体(3504)突出，所述至少一个横向延伸特征具有的尺寸和构造限制相应的探针(3500)能够插入到所述下阵列板的下板探针孔(3541-l)中的纵向范围，所述至少一个下保持特征（3501）作为所述安装特征中的一个。

3.根据权利要求2所述的探针阵列，其特征在于，所述下阵列板(3540-l)包括多个阶梯状下通孔(3541-l)，所述阶梯状下通孔的上部为较大直径的上部(3541-l1)，而下部为较小直径的下部(3541-l2)，其中，所述较小直径的下部(3541-l2)的尺寸适于使相应的探针(3500)的主体(3504)通过且所述下保持特征(3501)不能通过，而所述较大直径的上部(3541-l1)的尺寸适于接收作为所述安装特征中的一个的所述下保持特征（3501）。

4.如权利要求2所述的探针阵列，其特征在于，所述上阵列板(3540-u)包括多个上通孔(3541-u)，所述上通孔是直径恒定的通孔，其尺寸适于使相应探针(3500)的主体(3504)通过且作为所述安装特征中的一个的所述下保持特征(3501)不能通过。

5.根据权利要求3所述的探针阵列，其特征在于，所述阶梯状下通孔(3541-l)包括渐缩形表面。

6.根据权利要求4所述的探针阵列，其特征在于，所述上通孔(3541-u)包括渐缩形表面。

7.根据权利要求2所述的探针阵列，其特征在于，所述上阵列板(3540-u)包括多个阶梯状上通孔(3541-u)，所述阶梯状上通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·S·韦达马尼，吴明庭，D·R·斯莫利，
申请(专利权)人：微制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：