用于电子部件接触的具有平面非偏压弹簧元件的探针、用于制造此种探针的方法以及用于使用此种探针的方法技术

用于接触电子部件的探针阵列包括用于在两个电子电路元件之间进行接触的多个探针(3500)；以及阵列板(3540)安装和保持构型。所述探针可以包括：下部保持特征件(3501)，其从探针主体突出，其具有限制所述探针可以插入阵列板的板探针孔(3541)中的纵向范围的尺寸和构型；和上部保持特征件(3502)，其与所述探针主体结合，可以制成实现横向构型，所述横向构型的尺寸设计成穿过所述孔，然后弹性返回到不能穿过所述孔的构型，从而将所述探针和所述阵列板保持在一起。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术的实施例涉及微探针(例如，用于集成电路的晶圆级测试或插座测试，或用于与pcb或其他电子部件进行电连接)，并且更具体地，涉及针状微探针(即，竖向或纵向高度大于其宽度的微探针(例如，在一些实施例中大于5倍，在其他实施例中大于10倍，以及在另外实施例中大于20倍))或按钮状探针，其中弹簧元件在未偏压状态下具有平面构型。在一些实施例中，至少部分地通过电化学制造方法制造微探针，并且更具体地，通过多层、多材料电化学制造方法制造微探针，并且其中，在一些实施例中，多个探针在被保持在阵列构造中的同时投入使用，所述阵列构造包括一个或多个具有通孔的板，所述通孔接合探针和/或其他阵列保持结构的特征件。

技术介绍

1、探针：

2、市场上已经使用或提出了多种电接触探针和针构型，其中一些可能被认为属于现有技术，而另一些则不被认为属于现有技术。例如在专利公开号us2005-0104609、us2006-0006888、us2005-0184748、us2006-0108678、us2006-0238209和专利号us 7,640,651,us7,265,565、us本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种探针阵列，其包括：

2.根据权利要求1所述的探针阵列，其中所述上部保持特征件(3502)包括从相应探针(3500)的所述主体横向延伸的至少两个可收缩弹簧元件(3503)，其在压缩形式下具有能够穿过所述阵列板中的所述板探针孔(3541)的开口的宽度，并且在展开形式下具有防止穿过所述板探针孔(3541)的所述开口的宽度。

3.根据权利要求2所述的探针阵列，其中所述可收缩弹簧元件(3503)中的每个包括将所述可收缩弹簧元件(3503)粘附到所述探针(3500)的所述主体的基部端部(3503-B)和相对的可弹性移动的端部(3503-E)，所述可弹性移动的端部能够朝...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种探针阵列，其包括：

2.根据权利要求1所述的探针阵列，其中所述上部保持特征件(3502)包括从相应探针(3500)的所述主体横向延伸的至少两个可收缩弹簧元件(3503)，其在压缩形式下具有能够穿过所述阵列板中的所述板探针孔(3541)的开口的宽度，并且在展开形式下具有防止穿过所述板探针孔(3541)的所述开口的宽度。

3.根据权利要求2所述的探针阵列，其中所述可收缩弹簧元件(3503)中的每个包括将所述可收缩弹簧元件(3503)粘附到所述探针(3500)的所述主体的基部端部(3503-b)和相对的可弹性移动的端部(3503-e)，所述可弹性移动的端部能够朝向所述探针(3500)的所述主体顺应性地和横向地压缩，以允许所述探针(3500)完全插入对应板探针孔(3541)的所述开口中，并然后弹性展开以阻止所述探针(3500)从所述阵列板(3540)的意外释放。

4.根据权利要求1所述的探针阵列，其中所述上部保持特征件(3502)包括弹簧元件(3603)，所述弹簧元件在每个端部(3603-b，3603-e)朝向所述探针(3600)的所述主体凹进，其中最大横向延伸朝向所述弹簧元件(3603)的中央发生，而不是一直延伸到所述弹簧元件(3603)的可压缩端部。

5.根据权利要求1所述的探针阵列，其中所述探针(3500)中的每个包括多个可收缩弹簧元件，所述可收缩弹簧元件以选自由以下构成的组的方式沿着所述探针的外周定位：(a)均匀间隔，(b)非均匀间隔或(c)非对称构型。

6.根据权利要求1所述的探针阵列，其中所述上部保持特征件(3502)选自由以下构成的组：(a)多级保持弹簧，(b)在与所述保持环的方向相反的方向上具有横向插入的纵向延伸元件的保持弹簧，工具能够接触并横向向内按压所述元件，以向内移动所述保持弹簧用于装载，使得完全纵向放置不需要旋转运动，其后所述工具的释放允许所述弹簧弹性地向外移动以提供保持，(c)具有横向插入的辅助元件的保持弹簧，所述元件位于所述保持弹簧和所述保持环之间，并保持在所述阵列板的所述开口内，并对所述阵列板的内壁提供压力，以提供所述探针在所述板探针孔内的横向居中，同时仍然允许所述保持弹簧提供所述探针与所述阵列板的纵向锁定，(d)具有横向插入的辅助元件的保持弹簧，所述元件具有自身的顺应性，并且位于所述保持弹簧和所述保持环之间，并且保持在所述阵列板的所述开口内，并且对所述阵列板的内壁提供压力，以提供所述探针在所述板探针孔内的横向居中，同时仍然允许所述保持弹簧提供所述探针与所述阵列板的纵向锁定，(e)具有朝向和远离所述保持环均延伸的辅助元件的保持弹簧，使得所述探针在按压辅助元件的一个方向上的横向移动能够允许所述保持弹簧和探针本身的足够位移，以允许将所述探针的不同或相对侧装载到对应板探针孔中，然后不同或相对的横向移位能够用于完成所述探针的附加部分或相对侧到所述板阵列的装载，或者(f)这样的保持弹簧，其允许经由强制纵向位移而不是直接横向位移来减小横向尺寸，使得在纵向位移足够时，已经发生足够的横向位移以允许完成所述探针到所述阵列板的装载。

7.根据权利要求1所述的探针阵列，其中所述阵列板(3540)的所述板探针孔(3541)选自由以下构成的组：(a)...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·S·韦达马尼，吴明庭，D·R·斯莫利，
申请(专利权)人：微制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：