用于电子部件接触的具有平面非偏压弹簧元件的探针、制造这样的探针的方法、以及使用这样的探针的方法技术

一种形成探针（3500）的方法包括：提供第一探针模块（3500‑U）和第二探针模块（3500‑L），所述第一和第二探针模块具有相应的柔性元件（3521‑U，3521‑L），所述相应的柔性元件功能性地连结相应的探针臂，所述相应的探针臂直接地或间接地保持第一末端（3531‑U）和第二末端（3531‑L），以及通过在使得其相应的末端彼此远离指向的情况下使所述第一和第二探针模块横向地和纵向地对准而形成所述探针。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术的实施例涉及微探针（例如，用于集成电路的晶片级测试或插座测试，或用于与pcb或其他电子器件进行电气连接），更特别地，涉及销状微探针（即，具有竖向或纵向高度的微探针，其高度大于其宽度（例如，在一些实施例中为5倍，在其他实施例中为10倍，在又其他实施例中为20倍））或按钮状探针，其中弹簧元件在无偏压状态下具有平面构造。在一些实施例中，微探针至少部分地通过电化学制造方法制成，更特别地，通过多层、多材料电化学制造方法制成，并且其中，在一些实施例中，在保持阵列结构的同时多个探针被投入使用，所述阵列结构包括一个或多个具有通孔的板，所述通孔与探针和/或其他阵列保持结构的特征接合。

技术介绍

1、探针：

2、商业上已经使用或提出了许多电接触探针和销构造，其中一些可能符合现有技术，而其他则不符合现有技术。例如，专利公开号us 2005-0104609、us 2006-0006888、us2005-0184748、us 2006-0108678、us 2006-0238209和专利号us 7,640,651、us 7,265,565、us 7,412,7本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种形成探针（3500，3600，3700，3800，3900，4000）的方法，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，第一探针模块和第二探针模块（3500-U，3600-U，3700-U，3800-U，3900-U，4000-U；3500-L，3600-L，3700-L，3800-L，3900-L，4000-L）中的至少一者还包含基部（3501-U，3501-L，3601-L，3801-U，3801-L，3901-U，3901-L，4001-U，4001-L），所述第一探针模块和第二探针模块的相应的至少一个支架（3511-U，3611-U，3811-U，3911-...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种形成探针（3500，3600，3700，3800，3900，4000）的方法，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的至少一者还包含基部（3501-u，3501-l，3601-l，3801-u，3801-l，3901-u，3901-l，4001-u，4001-l），所述第一探针模块和第二探针模块的相应的至少一个支架（3511-u，3611-u，3811-u，3911-u，4011-u；3511-l，3611-l，3811-l，3911-l，4011-l）连结至所述基部，其中所述基部（3501-u，3501-l，3601-l，3801-u，3801-l，3901-u，3901-l，4001-u，4001-l）位于所述第一探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u）的所述至少一个支架（3511-u，3611-u，3711，3811-u，3911-u，4011-u）与所述第二探针模块（3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的所述至少一个支架（3511-l，3611-l，3711，3811-l，3911-l，4011-l）之间。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的连结包括选自由以下各项组成的组的要素：（1）将粘合材料施加至所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的至少一者，然后使用所述粘合材料将所述探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）连结至彼此；（2）在构建相应的探针模块的逐层形成工艺期间将粘合材料施加至所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的至少一者，并且此后连结所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）；（3）使用超声波焊接结合所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）；（4）使用激光焊接结合所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）；（5）使用硬钎焊工艺结合所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）；（6）使用软钎焊工艺结合所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）；（7）使用所述第一探针模块的特征与所述第二探针模块的特征之间的摩擦至少暂时地将所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）连结至彼此；（8）使用选自由以下各项组成的组的至少一种运动至少暂时地将所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）连结至彼此：（i）横向运动，（ii）纵向运动，（iii）旋转运动，以及（iv）这些运动的组合，其中发生所述探针模块的互锁；（9）使用选自由以下各项组成的组的至少一种运动至少暂时地将所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）连结至彼此：（i）横向运动，（ii）纵向运动，（iii）旋转运动，以及（iv）这些运动的组合，其中所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的互锁经由一个或多个凹入特征的接合而发生；（10）使用选自由以下各项组成的组的至少一种运动至少暂时地将所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）连结至彼此：（i）横向运动，（ii）纵向运动，（iii）旋转运动，以及（iv）这些运动的组合，其中所述第一探针模块和第二探针模块（3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的互锁经由一个或多个干涉特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）的接合而发生；以及（11）使用选自由以下各项组成的组的至少一种运动至少暂时地将所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）连结至彼此：（i）横向运动，（ii）纵向运动，（iii）旋转运动，以及（iv）这些运动的组合，其中所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的互锁经由一个探针模块上的弹性柔性元件与另一个探针模块上的特征的接合而发生，其中所述接合选自由以下各项组成的组：（i）相互干涉的特征，（ii）相对于彼此凹入的特征，以及（iii）相互摩擦地接合的特征。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的一者上的至少一个特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）接触所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的另一者上的至少一个特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063），从而提供所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的固定的相接位置。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的一者上的至少一个特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）包括多个特征，并且所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的另一者上的至少一个特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）提供这样的多个特征，所述多个特征提供多个硬止动件。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）中的每一个上的所述多个特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）包括在所述第一探针模块和第二探针模块中的每一个上的至少三个特征，所述至少三个特征沿着相关坐标系的所有三个轴配合。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述第一探针模块和第二探针模块中的每一个上的所述至少三个特征包括在所述第一探针模块和第二探针模块中的每一个上的至少四个特征。

8.根据权利要求5所述的方法，其中，提供多个硬止动件的所述多个特征（3761-v1，3761-v2，3761-h1，3761-h2，3761-r1，3761-r2，3861-r1，3861-r2，3861-v1，3861-v2，3863，3961-v1，3961-v2，3964，4061-r1，4061-r2，4061-v1，4061-v2，4063）沿着以下情形中的至少两种提供对准止动件：（1）至少一个横向方向，（2）纵向方向，（3）在至少两个分离点处的至少一个方向，所述至少两个分离点与所述至少一个方向不成一线，（4）在至少三个分离点处的至少一个方向，所述至少三个分离点不共线并且没有一对点与所述至少一个方向成一线，（5）至少两个垂直的横向尺寸，（6）两个垂直的方向，（5）至少一个方向和一个旋转，（6）至少两个垂直的方向和至少一个旋转，（7）至少三个垂直的方向和至少一个旋转，（8）至少一个方向和至少两个垂直的旋转，以及（9）至少一个方向和三个垂直的旋转。

9.根据权利要求4所述的方法，其中，所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的支架（3511-u，3611-u，3811-u，3911-u，4011-u；3511-l，3611-l，3811-l，3911-l，4011-l）包括至少一个特征，所述至少一个特征为互补的纵向、旋转、以及径向止动特征，在以相反的纵向取向连结所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）时，所述第一探针模块和第二探针模块（3500-u，3600-u，3700-u，3800-u，3900-u，4000-u；3500-l，3600-l，3700-l，3800-l，3900-l，4000-l）的横向和纵向对准使所述特征接合。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一探针模块（3800-u，3900-u，4000-u）包括位于其相应的支架之间并且设置有接合狭槽（3862，3962，4062）的第一基部（3801-u，3901-u，4001-u），并且所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·S·韦达马尼，吴明庭，D·R·斯莫利，
申请(专利权)人：微制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：