【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体检测，具体来说，涉及一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法及系统。
技术介绍
1、探针卡是一种主要用于裸芯测试的测试接口，通过将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块接触，引出芯片信号。这一过程配合周边测试仪器和软件控制，实现自动化量测，因此在ic制造中，探针卡对制造成本的影响非常大，是一个重要的制程环节。
2、在探针卡针痕检测方法中，无法利用优化算法迭代修正标注探针与焊点的接触位置，并生成最佳接触点进行重复测试，这可能会导致探针与焊垫之间的接触位置不是最佳的，从而增加接触电阻和减少信号的传输效率，影响整体测试的准确性和可靠性。在缺乏优化算法支持的情况下，可能需要手动调整探针的位置以寻找最佳接触点，这种手动调整不仅耗时耗力，还可能增加设备的磨损，导致更高的维护和更换成本。
3、针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
1、（一）解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本专利技术提供了基于针痕照片的探针卡针痕检测方...
【技术保护点】
1.一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法，其特征在于，该基于针痕照片的探针卡针痕检测方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法，其特征在于，所述建立针痕识别模型识别优化针痕图像中的针痕纹理特征，并基于针痕纹理特征成针痕特征包括以下步骤：
3.根据权利要求2所述的一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法，其特征在于，所述基于接触质量的评估结果从优化针痕图像中筛选出异常数据，并根据筛选结果对存在异常接触的探针进行标注包括以下步骤：
4.根据权利要求3所述的一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法，其特征在于，该基于针痕照片的探针卡针痕检测方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法，其特征在于，所述建立针痕识别模型识别优化针痕图像中的针痕纹理特征，并基于针痕纹理特征成针痕特征包括以下步骤：
3.根据权利要求2所述的一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法，其特征在于，所述基于接触质量的评估结果从优化针痕图像中筛选出异常数据，并根据筛选结果对存在异常接触的探针进行标注包括以下步骤：
4.根据权利要求3所述的一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法，其特征在于，所述利用置信分布规则训练置信编码器，检测潜在异常区域中的异常数据点，并对识别为异常接触点的探针进行标注包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述的一种基于针痕照片的探针卡针痕检测方法，其特征在于，所述基于置信分布形式自适应调整置信编码器中置信规则权重，利用调整后的置信编码器对潜在异常区域中的异常数据点进行检测并标注包括以下步骤：
【专利技术属性】
技术研发人员：黎华盛，劳杰，赵威风，万刘阳，
申请(专利权)人：道格特半导体科技江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：
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