【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学测量，具体涉及一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法。
技术介绍
1、近年来随着超精密加工制造及精密计量等领域的快速发展，位移测量精度需求逐渐由纳米量级向亚纳米甚至皮米量级过渡。非共光路外差干涉光路由于解决了传统共光路外差干涉光路中几纳米至十几纳米的周期非线性误差，已然成为下一代干涉仪的发展方向。然而，非共光路干涉结构的光路更复杂且参考光与测量光光程更难平衡，这导致其比传统共光路干涉结构更容易受到温度的影响，此时干涉仪热稳定性成为制约非共光路外差干涉仪测量精度进一步提高的关键因素。
2、非共光路外差干涉仪的测量光与参考光非完全等光程导致其受温度变化产生热漂移误差，制约其测量精度。国内外学者相继研发了不同类型的近等光程外差干涉仪，相比传统的外差激光干涉仪，它们的热稳定性提高，但考虑到光程的平衡性、干涉仪的高度集成性等需求，目前非共光路外差干涉仪仍存在一定的局限性。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的问题是克服现有的非共光路外差激光干涉仪均难以满足光程完全平衡...
【技术保护点】
1.一种完全等光程外差激光干涉仪，其特征在于，包括偏振分光棱镜(1)、角锥棱镜(2)、四分之一波片(3)、第一补偿玻璃(4)、第一二分之一波片(5)、第一koester棱镜(6)、第一偏振片(7)、第一光电探测器(8)、第二二分之一波片(9)、第二补偿玻璃(10)、第二koester棱镜(11)、第二偏振片(12)、第二光电探测器(13)、第二反射镜(14)、第一反射镜(15)；
2.根据权利要求1所述的一种完全等光程外差激光干涉仪，其特征在于，第一补偿玻璃(4)、第二补偿玻璃(10)、第一二分之一波片(5)和第二二分之一波片(9)尺寸相同，所述第一补偿玻...
【技术特征摘要】
1.一种完全等光程外差激光干涉仪，其特征在于，包括偏振分光棱镜(1)、角锥棱镜(2)、四分之一波片(3)、第一补偿玻璃(4)、第一二分之一波片(5)、第一koester棱镜(6)、第一偏振片(7)、第一光电探测器(8)、第二二分之一波片(9)、第二补偿玻璃(10)、第二koester棱镜(11)、第二偏振片(12)、第二光电探测器(13)、第二反射镜(14)、第一反射镜(15)；
2.根据权利要求1所述的一种完全等光程外差激光干涉仪，其特征在于，第一补偿玻璃(4)、第二补偿玻璃(10)、第一二分之一波片(5)和第二二分之一波片(9)尺寸相同，所述第一补偿玻璃(4)和第二补偿玻璃(10)关于偏振分光棱镜(1)成中心对称设置；所述第一二分之一波片(5)和第二二分之一波片(9)关于偏振分光棱镜(1)成中心对称设置。
3.根据权利要求1或2所述的一种完全等光程外差激光干涉仪，其特征在于，所述偏振分光棱镜(1)的透射光偏振方向为垂直方向，反射光偏振方向为水平方向；所述第一偏振片(7)和第二偏振片(12)的偏振轴方向均与水平...
【专利技术属性】
技术研发人员：付海金，王子乔，胡鹏程，陈仪松，熊信慷，王铮，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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