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一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法技术
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文档序号:43472590
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一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法,属于光学测量技术领域。为克服现有的非共光路外差激光干涉仪均难以满足光程完全平衡的问题,本发明偏振分光棱镜的上侧端面贴附有角锥棱镜、下侧端面贴附有四分之一波片、左侧端面贴附有第一补偿玻璃、第一二分之一...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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