【技术实现步骤摘要】
本申请涉及老化测试设备，特别是涉及老化测试设备的控制方法及老化测试设备。
技术介绍
1、老化测试是芯片生产制造过程中的一个重要环节，旨在降低芯片早期潜在失效率。老化测试通过将芯片放置在测试座上，并加上偏压，放置在老化室中进行测试，模拟芯片在生命周期中最差偏置下的使用情况。老化测试过程中，芯片通电测试下发热，持续产生热量，为维持箱体内环境温度，老化测试设备需不断产生冷空气对芯片冷却，以维持箱内温度。
2、现有老化测试设备的温度控制方式，主要采用制冷剂机输出冷量与加热棒冷热对抗实现稳定控制，这种方式虽然可以很好的实现温度控制，但是存在整机设备能耗大，用户使用成本高的问题。
技术实现思路
1、基于此，为了降低老化测试设备的整机能耗，提供了一种老化测试设备的控制方法及老化测试设备。
2、一种老化测试设备的控制方法，包括：
3、启动制冷模块；
4、调整压缩机至初始频率，调整膨胀阀至初始开度；
5、根据获取的测试单元入口侧的实际送风温度tai...
【技术保护点】
1.一种老化测试设备的控制方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的老化测试设备的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：
3.根据权利要求2所述的老化测试设备的控制方法，其特征在于，根据获取的测试单元入口侧的实际送风温度Tai与设定的目标送风温度Tsi判断所述制冷模块是否满足制冷调整条件之后，还包括：
4.根据权利要求1-3任一项所述的老化测试设备的控制方法，其特征在于，所述调整所述膨胀阀的开度，包括：
5.根据权利要求4所述的老化测试设备的控制方法，其特征在于，所述根据所述实际蒸发温度Te、所述目标蒸发温度...
【技术特征摘要】
1.一种老化测试设备的控制方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的老化测试设备的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：
3.根据权利要求2所述的老化测试设备的控制方法，其特征在于，根据获取的测试单元入口侧的实际送风温度tai与设定的目标送风温度tsi判断所述制冷模块是否满足制冷调整条件之后，还包括：
4.根据权利要求1-3任一项所述的老化测试设备的控制方法，其特征在于，所述调整所述膨胀阀的开度，包括：
5.根据权利要求4所述的老化测试设备的控制方法，其特征在于，所述根据所述实际蒸发温度te、所述目标蒸发温度tes、设定的温度死区td和所述第一送风温差阈值δte，基于所述初始开度调整所述膨胀阀的开度，包括：
6.根据权利要求4所述的老化测试设备的控制方法，其特征在于，所述获取换热器的实际蒸发温度te，包括：
7.根据权利要求1-3任一项所述的老化测试设备的控制方法，其特征在于，所述调整所述压缩机的频率，包括：
8.根据权利要求7所述的老化测试设备的控制方法，其特征在于，根据所述目标送风温度tsi...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖俊华，梁欣，于勤超，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。