一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层及其制备方法与应用技术

本发明专利技术公开了一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层及其制备方法与应用，属于耐磨涂层技术领域。该硅掺杂类金刚石复合润滑涂层包括用于在基底表面依次设置的SiC打底层和Si‑DLC功能层；其中，SiC打底层具有柱状结构，SiC打底层的厚度为0.3μm～0.4μm；Si‑DLC功能层具有致密的无特征结构，Si‑DLC功能层的厚度为2.0μm～5.0μm。该涂层能够同时具有低摩擦、高硬度、高韧性、高耐磨以及抗开裂性能。其制备方法简单，易操作，具有沉积温度低、成膜均匀、重复性好以及实用性广等特点。所得的涂层既可用于硬质基底，也可用于柔性基底，极大拓宽了类金刚石薄膜的应用范围。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及耐磨涂层，具体而言，涉及一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层及其制备方法与应用。

技术介绍

1、许多场合下，材料表面容易受到划伤、磨损及冲蚀等各种损伤，因此有必要在其表面制备相应的保护涂层。其中，类金刚石(dlc)涂层作为保护涂层因其低摩擦系数、高硬度、高耐磨及化学惰性等被广泛用于机械、电子、医学等领域。然而，传统dlc涂层存在韧性差和内应力大导致的涂层易剥落等问题，尤其是在柔性基底上应用时容易导致断裂。

2、因此，制备同时具有高硬度、高韧性、高耐磨及抗裂性能的高性能dlc润滑涂层具有重要的意义。

3、鉴于此，特提出本专利技术。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层及其制备方法与应用。

2、本专利技术可这样实现：

3、第一方面，本专利技术提供一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层，该硅掺杂类金刚石复合润滑涂层包括用于在基底表面依次设置的sic打底层和si-dlc功能层；

4、其中，sic打底层具有柱状结构，sic打本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层，其特征在于，所述硅掺杂类金刚石复合润滑涂层包括用于在基底表面依次设置的SiC打底层和Si-DLC功能层；

2.根据权利要求1所述的硅掺杂类金刚石复合润滑涂层，其特征在于，所述SiC打底层中，Si的质量百分数为25％～35％，C的质量百分数为65％～75％。

3.根据权利要求1所述的硅掺杂类金刚石复合润滑涂层，其特征在于，所述Si-DLC功能层中，Si的质量百分数为2％～8％，DLC的质量百分数为92％～98％。

4.根据权利要求1～3任一项所述的硅掺杂类金刚石复合润滑涂层，其特征在于，所述硅掺杂类金刚石复合润滑涂层具...

【技术特征摘要】

1.一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层，其特征在于，所述硅掺杂类金刚石复合润滑涂层包括用于在基底表面依次设置的sic打底层和si-dlc功能层；

2.根据权利要求1所述的硅掺杂类金刚石复合润滑涂层，其特征在于，所述sic打底层中，si的质量百分数为25％～35％，c的质量百分数为65％～75％。

3.根据权利要求1所述的硅掺杂类金刚石复合润滑涂层，其特征在于，所述si-dlc功能层中，si的质量百分数为2％～8％，dlc的质量百分数为92％～98％。

4.根据权利要求1～3任一项所述的硅掺杂类金刚石复合润滑涂层，其特征在于，所述硅掺杂类金刚石复合润滑涂层具有以下特征中的至少一种：

5.一种如权利要求1～4任一项所述的硅掺杂类金刚石复合润滑涂层的制备方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：林松盛，陈彦军，唐鹏，苏一凡，韦春贝，石倩，张程，李小亚，黄淑琪，
申请(专利权)人：广东省科学院新材料研究所，
类型：发明
国别省市：