CrmN/TixAlyN/AlaCrbSicVdNe纳米复合涂层及其制备方法和包含其的工具技术

本发明专利技术涉及物理气相沉积纳米复合涂层技术领域。具体地，本发明专利技术涉及Cr<subgt;m</subgt;N/Ti<subgt;x</subgt;Al<subgt;y</subgt;N/Al<subgt;a</subgt;Cr<subgt;b</subgt;Si<subgt;c</subgt;V<subgt;d</subgt;N<subgt;e</subgt;纳米复合涂层及其制备方法。本发明专利技术还涉及包含所述Cr<subgt;m</subgt;N/Ti<subgt;x</subgt;Al<subgt;y</subgt;N/Al<subgt;a</subgt;Cr<subgt;b</subgt;Si<subgt;c</subgt;V<subgt;d</subgt;N<subgt;e</subgt;纳米复合涂层的工具。通过本发明专利技术的方法制备的Cr<subgt;m</subgt;N/Ti<subgt;x</subgt;Al<subgt;y</subgt;N/Al<subgt;a</subgt;Cr<subgt;b</subgt;Si<subgt;c</subgt;V<subgt;d</subgt;N<subgt;e</subgt;纳米复合涂层综合性地利用了Al<subgt;a</subgt;Cr<subgt;b</subgt;Si<subgt;c</subgt;V<subgt;d</subgt;N<subgt;e</subgt;层的高耐磨性和热稳定性、Ti<subgt;x</subgt;Al<subgt;y</subgt;N层的优秀的硬度和韧性以及Cr<subgt;m</subgt;N过渡层的高附着力等特点，从而使得本发明专利技术的纳米复合涂层在具备较好的硬度、结合力和韧性等综合力学性能的同时还能兼顾优异的润滑性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及物理气相沉积纳米复合涂层。具体地，本专利技术涉及crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层及其制备方法。本专利技术还涉及包含所述crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层的工具。

技术介绍

1、在现代制造业的高速发展之下，硬质涂层作为材料科学的重要研究方向一直受到很多重视，并且广泛应用于机械领域、医疗领域、纺织领域、微电子领域和航空领域等。硬质涂层是在基体上沉积的一层或多层厚度为数微米的涂层。在基体不变情况下，硬质涂层可以使得其所涂覆的零部件具有更好的性能和更久的使用寿命。例如，切削工具在沉积了硬质膜层后，会具有提高的切削性能。硬质涂层除了改善切削工具的切削加工质量并大大降低其加工成本外，还可以大幅提升其硬度和韧性。

2、切削工具涂层技术随时间发展可分为多元涂层、梯度涂层、纳米复合涂层、纳米多层涂层等。所述涂层的各项性能也稳步提升，可应用于各种切削加工环境中。

3、切削工具涂层一般可采用物理气相沉积技术。物理气相沉积技术目前已相当完善，主要包括利用大电流使得靶材蒸发或者附加粒本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种结合于基体表面上的CrmN/TixAlyN/AlaCrbSicVdNe纳米复合涂层，其特征在于，该纳米复合涂层包含沉积于所述基体表面上的CrmN过渡层，和沉积于所述CrmN过渡层表面上的具有一个或多个周期性结构的TixAlyN/AlaCrbSicVdNe复合多层，其中所述TixAlyN/AlaCrbSicVdNe复合多层的一个周期包含内层的TixAlyN层和外层的AlaCrbSicVdNe层，

2.根据权利要求1所述的CrmN/TixAlyN/AlaCrbSicVdNe纳米复合涂层，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的CrmN/TixAlyN/AlaCr...

【技术特征摘要】

1.一种结合于基体表面上的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层，其特征在于，该纳米复合涂层包含沉积于所述基体表面上的crmn过渡层，和沉积于所述crmn过渡层表面上的具有一个或多个周期性结构的tixalyn/alacrbsicvdne复合多层，其中所述tixalyn/alacrbsicvdne复合多层的一个周期包含内层的tixalyn层和外层的alacrbsicvdne层，

2.根据权利要求1所述的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层，其特征在于，所述基体选自硬质合金、高速钢和刚玉中的任何一种。

4.根据权利要求1所述的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层，其特征在于，所述具有周期性结构的tixalyn/alacrbsicvdne复合多层的周期数为1、2、3或4。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层，其特征在于，所述复合涂层包含面心立方结构的aln、crn、vn相和密排六方结构的aln相，以及si的氮...

【专利技术属性】
技术研发人员：张凤戈，郭桦帅，魏铁峰，孟晓亭，张欠男，缪磊，
申请(专利权)人：苏州六九新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：