下载一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:43419984

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本发明公开了一种硅掺杂类金刚石复合润滑涂层及其制备方法与应用,属于耐磨涂层技术领域。该硅掺杂类金刚石复合润滑涂层包括用于在基底表面依次设置的SiC打底层和Si‑DLC功能层;其中,SiC打底层具有柱状结构,SiC打底层的厚度为0.3μm~0...
该专利属于广东省科学院新材料研究所所有,仅供学习研究参考,未经过广东省科学院新材料研究所授权不得商用。

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