一种激光测算杜瓦内部实时真空度的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及红外探测器技术领域，具体涉及一种激光测算杜瓦内部实时真空度的装置及方法。包括标准真空腔室和杜瓦真空腔室，杜瓦真空腔室与杜瓦连通，标准真空腔室和杜瓦真空腔室内均设有相同结构的脉冲传播机构，脉冲传播机构用于接收脉冲激光器发出的脉冲并控制脉冲沿设定的增长光路进行传播；激光探测器，用于接收经过脉冲传播机构传播的脉冲，激光探测器还用于根据脉冲在标准真空腔室和杜瓦真空腔室中传播的时差计算杜瓦的真空度。本发明专利技术通过测量脉冲在标准真空环境与杜瓦内部环境中传播的时差测算杜瓦内部实时的真空度，无需破坏杜瓦即可表征杜瓦内部真空度，测试前后对杜瓦真空度无不利影响。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及红外探测器，具体涉及一种激光测算杜瓦内部实时真空度的装置及方法。

技术介绍

1、杜瓦内气压测量是对杜瓦真空性能与寿命评判的最直接的方法。目前，测量杜瓦密封性能是否良好的方法是通过对杜瓦进行热负载测试：将杜瓦从制冷机上拆卸下来，向冷指气缸中注入液氮；通过测试液氮挥发速率进而对杜瓦气密性进行定性分析。密封性能良好的杜瓦挥发速率低；密封性能差的杜瓦挥发速率高。

2、制冷红外探测器封装后杜瓦内部空间无法与外部真空检测设备直连进行真空度的检测。已封装的制冷红外探测器内的真空度检测仅能够通过对杜瓦进行热负载测试，得到一个杜瓦是否已经大量漏气的定性结果，对杜瓦内部轻微气体泄露并不敏感。此外，如果在杜瓦内引入传统电子气压传感器将会引入新的热源，并且对杜瓦内部真空度也存在负面影响，影响制冷红外探测器正常工作；同时，由于电子气压传感器体积较大，也不符合杜瓦小型化的设计趋势。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于，提供一种激光测算杜瓦内部实时真空度的装置，解决以上技术问题；本专利技术的目的还在于，提供一本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光测算杜瓦内部实时真空度的装置，其特征在于，包括，标准真空腔室（1）和杜瓦真空腔室（2），所述杜瓦真空腔室（2）与杜瓦（3）连通，所述标准真空腔室（1）和所述杜瓦真空腔室（2）内均设有相同结构的脉冲传播机构，所述脉冲传播机构用于接收脉冲激光器（4）发出的脉冲并控制所述脉冲沿设定的增长光路进行传播；激光探测器（5），用于接收经过所述脉冲传播机构传播的所述脉冲，所述激光探测器（5）还用于根据所述脉冲在所述标准真空腔室（1）和所述杜瓦真空腔室（2）中传播的时差计算所述杜瓦的真空度。

2.根据权利要求1所述的激光测算杜瓦内部实时真空度的装置，其特征在于，所述标准真空腔室（1...

【技术特征摘要】

1.一种激光测算杜瓦内部实时真空度的装置，其特征在于，包括，标准真空腔室（1）和杜瓦真空腔室（2），所述杜瓦真空腔室（2）与杜瓦（3）连通，所述标准真空腔室（1）和所述杜瓦真空腔室（2）内均设有相同结构的脉冲传播机构，所述脉冲传播机构用于接收脉冲激光器（4）发出的脉冲并控制所述脉冲沿设定的增长光路进行传播；激光探测器（5），用于接收经过所述脉冲传播机构传播的所述脉冲，所述激光探测器（5）还用于根据所述脉冲在所述标准真空腔室（1）和所述杜瓦真空腔室（2）中传播的时差计算所述杜瓦的真空度。

2.根据权利要求1所述的激光测算杜瓦内部实时真空度的装置，其特征在于，所述标准真空腔室（1）和所述杜瓦真空腔室（2）中心对称设置并关于对称中心可活动地连接所述杜瓦（3），根据所述标准真空腔室（1）或所述杜瓦真空腔室（2）移动，所述脉冲传播机构的脉冲接收端被带动至与所述脉冲激光器（4）的发射端相对应，且所述脉冲传播机构的脉冲发射端同步被带动至与所述激光探测器（5）的接收端相对应。

3.根据权利要求1所述的激光测算杜瓦内部实时真空度的装置，其特征在于，所述标准真空腔室（1）和所述杜瓦真空腔室（2）均为玻璃腔室，所述杜瓦真空腔室（2）上设有用于和所述杜瓦连通的气压平衡孔（21）。

4.根据权利要求1所述的激光测算杜瓦内部实时真空度的装置，其特征在于，所述标准真空腔室（1）和所述杜瓦真空腔室（2）为半圆环结构，所述标准真空腔室（1）的两端和所述杜瓦真空腔室（2）的两端对接共同组成圆环；所述脉冲传播机构包括在圆环的圆周方向上分布的第一偏转反射镜片（61）和第二偏转反射镜片（62），所述第一偏转反射镜片（61）设于所述标准真空腔室（1）和所述杜瓦真空腔室（2）的腔室顶部，用于将从斜下方入射的所述脉冲沿圆周方向偏转反射；所述第二偏转反射镜片（62）设于所述标准真空腔室（1）和所述杜瓦真空腔室（2）的腔室底部，用于将从斜上方入射的所述脉冲沿圆周方向偏转反射；所述增长光路包括所述脉冲在所述第一偏转反射镜片（61）和所述第二偏转反射镜片（62）之间多次偏转反射的传播路径。

5.根据权利要求4所述的激光测算杜瓦内部实时真空度的装置，其特征在于，所述脉冲传播机构还包括，起偏镜片（63），朝向所述脉冲激光器（4）设置，用于将所述脉冲激光器（4）发出的所述脉冲按设定角度起偏射入所述第一偏转反射镜片（61）或所述第二偏转反射镜片（62）；止偏镜片（64），设于所述第一偏转反射镜片（61）或所述第二偏转反射镜片（62）远离所述起偏镜片（63）的一侧，用于接收被所述第一偏转反射镜片（61）和所述第二偏转反射镜片（62）之间多次偏转反射后的所述脉冲，并将所述脉冲反射进所述激光探测器（5）。

6.根据权利要求4所述的激光测算杜瓦内部实时真空度的装置，其特征在于，还包括半透半反镜（65），所述半透半反镜（65）位于所述脉冲激光器（4）的发射光路上和所述激光探测器（5）的接收光路上，所述脉冲传播机构还包括，起偏镜片（63），朝向所述脉冲激光器（4）设置，接收所述脉冲激光器（4）发出的经过所述半透半反镜（65）透光的所述脉冲，用于按设定角度将所述脉冲起偏射入所述第一偏转反射镜片（61）或所述第二偏转反射镜片（62）；反射镜片（66），设于所述第一偏转反射镜片（61）或所述第二偏转反射镜片（62）远离所述起偏镜片（63）的一侧，用于接收在所述第一偏转反射镜片（61）和所述第二偏转反射镜片（62）之间多次来回偏转反射后的所述脉冲，并按所述脉冲的入射方向将所述脉冲原路返回地射入...

【专利技术属性】
技术研发人员：周小棚，熊雄，石伟杰，毛剑宏，
申请(专利权)人：浙江珏芯微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：