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一种激光测算杜瓦内部实时真空度的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:43394288
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本发明涉及红外探测器技术领域,具体涉及一种激光测算杜瓦内部实时真空度的装置及方法。包括标准真空腔室和杜瓦真空腔室,杜瓦真空腔室与杜瓦连通,标准真空腔室和杜瓦真空腔室内均设有相同结构的脉冲传播机构,脉冲传播机构用于接收脉冲激光器发出的脉冲并控...
该专利属于浙江珏芯微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江珏芯微电子有限公司授权不得商用。
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