【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体真空机器手同步位置控制装置同步两路码盘采样高精度细分电路，具体地说是一种为真空机器手控制器提供两路同步采样的高精度位置检测硬件电路，即高精度同步双码盘细分采样装置。该电路从硬件角度提供一种同步采样机制来提高通过同步位置控制装置调节后的执行机构的同步效果，同时通过硬件电路的细分以提高系统的控制精度和运行的平稳性。
技术介绍
在真空机器手是IC装备当中的重要功能部件，蛙手连杆机构是在真空机械手中普遍采用的一种机械结构。该结构属于一种并联机构，具有刚度大、承载能力强、位置精度高、响应快等优点；并联机构使该类型的传输机械手的效率得到很大提高。同时由于这类机构的运动学和动力学求解问题比较复杂，并且由于系统的要求具有较高的同步输出能力和较好的动态性能，以保证系统的精度和运行的平稳性。因此同步效果是提高该并联机构系统中保障系统精度的亟待解决的问题。
技术实现思路
为了克服上述所存在的系统精度的不足，本专利技术的目的是提供一种高精度同步双码盘细分采样装置，从硬件同步采样与码盘细分机制着手，为控制系统提供了必要的硬件基础，提高了机械手的运行的平稳性和位置控制精度...
【技术保护点】
一种高精度同步双码盘细分采样装置，其特征在于包括：模拟码盘接口模块，所述模拟码盘接口模块输入端与码盘连接，接收码盘索引信号及正余弦信号，输出码盘方波信号及放大了的码盘正余弦信号；分压模块（Ｄ３），所述分压模块（Ｄ３）接收模拟码盘接口模块所产生的码盘方波信号，对码盘方波信号进行分压处理；细分采集模块（Ｄ５），所述细分采集模块（Ｄ５）接收模拟码盘接口模块所产生的放大了的码盘正余弦信号，通过模拟量至数字量的转换实现码盘正余弦信号精度的细分；同步采集处理模块（Ｄ６），所述同步采集处理模块（Ｄ６）接收分压后的码盘正余弦方波信号，通过并行数据总线、控制总线与细分采集模块通讯，并通过转换...
【技术特征摘要】
一种高精度同步双码盘细分采样装置，其特征在于包括模拟码盘接口模块，所述模拟码盘接口模块输入端与码盘连接，接收码盘索引信号及正余弦信号，输出码盘方波信号及放大了的码盘正余弦信号；分压模块(D3)，所述分压模块(D3)接收模拟码盘接口模块所产生的码盘方波信号，对码盘方波信号进行分压处理；细分采集模块(D5)，所述细分采集模块(D5)接收模拟码盘接口模块所产生的放大了的码盘正余弦信号，通过模拟量至数字量的转换实现码盘正余弦信号精度的细分；同步采集处理模块(D6)，所述同步采集处理模块(D6)接收分压后的码盘正余弦方波信号，通过并行数据总线、控制总线与细分采集模块通讯，并通过转换数据总线、转换控制总线接口与外部电路相连；电源模块(D4)，所述电源模块(D4)与模拟码盘接口模块、细分采集模块、同步采样处理模块相连，为其提供工作电源，同时为细分采集模块提供参考电压。2. 按权利要求1所述高精度同步双码盘细分采样装置，其特征在于所述模拟码盘接口模块分为第一模拟码盘接口模块(Dl)，第二模拟码盘接口模块(D2)结构相同的两个模块，每个模块包括两组差分比例线性放大电路和滞回电路，每组差分比例线性放大电路由两个运算放大器构成，每组滞回电路由运算放大器及跨接于该运算放大器的输入、出端的电阻构成；其中第一组差分比例线性放大电路输入端并行连接两个码盘的正余弦差分信号输出端，输出端为线性放大后的码盘正余弦差分信号；第一组滞回电路接收线性放大处理后的信号，输出为连续的方波；第二组差分比例线性放大电路输入端接码盘的索引信号输出端，输出端为线性放大后的码盘的索引信号；第二组滞回电路以线性放大处理后的索引信号为输入信号，输出为连续的方波，经拨码开关至光电隔离器；每个模块输出分两路，一路第一组差分比例线性放大电路输出放大了的码盘正余弦信号至细分采样模块，另一路第一组滞回电路将码盘正余弦信号变为方波后接光电隔离器，再与第二组经光电隔离后的方波信号一起至分压模块。3...
【专利技术属性】
技术研发人员：褚明杰，魏辉，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]
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