【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材制备，具体为一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法。
技术介绍
1、氮化钛（tin）属过渡族金属氮化物，由共价键和金属键组合而成，具有共价晶体和金属晶体的特性，即高硬度（维氏硬度1800-2100）、高熔点（2930℃）、优异的化学稳定性、较好的耐磨耐腐蚀性等，氮化钛是第一种产业化的薄膜材料，在汽车、生物医学、微电子、半导体、航空航天等领域有着广泛的应用。针对不同基体和膜层，氮化钛与其结合强度存在明显差异，主要原因是由于膜层与膜层之间、膜层与基体之间晶格失配和存在应力的缺陷，导致结合强度降低，限制了氮化钛薄膜的进一步应用。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：
3、s1：制备靶材喷涂粉末：靶材喷涂粉末成分为ti1-xnmx；
4、其中，m为掺杂元素；
...【技术保护点】
1.一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，其特征在于：所述掺杂元素M为Zr、Hf、Nb、Ta、Mo、W中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，其特征在于：步骤1中使用325目-170目的筛网对Ti1-XNMX粉末进行筛分，筛分后在混料机中充入氮气混合6-12小时。
4.根据权利要求1所述的一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，其特征在于：步骤3中，喷涂工件基体的加工处理步骤包括工件基体清洗加工，去...
【技术特征摘要】
1.一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，其特征在于：所述掺杂元素m为zr、hf、nb、ta、mo、w中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，其特征在于：步骤1中使用325目-170目的筛网对ti1-xnmx粉末进行筛分，筛分后在混料机中充入氮气混合6-12小时。
4.根据权利要求1所述的一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，其特征在于：步骤3中，喷涂工件基体的加工处理步骤包括工件基体清洗加工，去除工件上油渍、杂物、氧化层后，对喷涂面进行吹砂，吹砂后进行表面粗化。
5.根据权利要求1所述的一种晶格可调的氮化钛旋转靶材...
【专利技术属性】
技术研发人员：郝国建，王雷，杜亚飞，张东，
申请(专利权)人：江苏海泰光电材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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