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本发明涉及靶材制备技术领域，具体为一种晶格可调的氮化钛旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：制备靶材喷涂粉末、喷雾干燥，使掺杂元素均匀分布于粉末中、喷涂工件基体加工处理、喷涂工件打底层、采用大气等离子喷涂工艺，在工件上喷涂靶材喷涂粉末，形成有效...
该专利属于江苏海泰光电材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏海泰光电材料科技股份有限公司授权不得商用。

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