【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及热导陶瓷,具体为一种提高氮化硅瓷片热导的浆料制备方法。
技术介绍
1、氮化硅陶瓷具有高导热性、高强度、高硬度、耐腐蚀性、高模量、低膨胀系数、抗氧化性和良好的抗热冲击及机械冲击性能等,被材料科学界认为是陶瓷领域中综合性能优良的陶瓷材料之一。商用高导热氮化硅陶瓷的热导率在80w/(m·k)左右,抗弯强度为600~850mpa。氮化硅瓷片在烧结时,使用的是气压液相烧结技术,因此片与片之间需要通过烧结温度更高的氮化硼来起到隔离效果,否则片会烧结到一起,不易分开。涂覆在瓷片表面的氮化硼在高温下易氧化,氧化的物质会渗透进在瓷片表面,在高温下形成新的杂相,从而影响瓷片表面微观晶相结构和热导率。
2、本专利技术采用添加还原剂的方式制备的敷粉浆料,通过喷雾雾化的方式将浆料均匀的喷涂到生坯上,然后生坯排胶烧结,还原剂在高温下能分解氮气、氢气或碳化物,这些分解物质具有还原性,能够将防止氮化硼在高温下氧化,或者将氧化后的氧化硼还原成氮化硼,从而大量减少杂相的产生,进而将氮化硅瓷片热导率提高10%以上,达到90w/(m·k)以上。
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【技术保护点】
1.一种提高氮化硅瓷片热导的浆料,其特征在于,所述浆料的组成包括:按质量百分数计,氮化硼粉体10~30%、还原剂0.2~2%、粘结剂0.5~2.5%、塑化剂0.2~1.5%、分散剂0.2~1.5%、其余为溶剂。
2.根据权利要求1所述的一种提高氮化硅瓷硅瓷片热导的浆料,其特征在于,所述溶剂为纯水、去离子水、异丙醇、乙二醇、二甘醇中至少一种。
3.根据权利要求1所述的一种提高氮化硅瓷硅瓷片热导的浆料,其特征在于,所述粘结剂为羟乙基纤维素、丙烯酸树脂、聚乙烯醇、甲基纤维素中至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种提高氮化硅瓷硅瓷片热导的
...【技术特征摘要】
1.一种提高氮化硅瓷片热导的浆料,其特征在于,所述浆料的组成包括:按质量百分数计,氮化硼粉体10~30%、还原剂0.2~2%、粘结剂0.5~2.5%、塑化剂0.2~1.5%、分散剂0.2~1.5%、其余为溶剂。
2.根据权利要求1所述的一种提高氮化硅瓷硅瓷片热导的浆料,其特征在于,所述溶剂为纯水、去离子水、异丙醇、乙二醇、二甘醇中至少一种。
3.根据权利要求1所述的一种提高氮化硅瓷硅瓷片热导的浆料,其特征在于,所述粘结剂为羟乙基纤维素、丙烯酸树脂、聚乙烯醇、甲基纤维素中至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种提高氮化硅瓷硅瓷片热导的浆料,其特征在于,所述塑化剂为十二碳醇酯、苯甲酸酯、邻苯二甲酸二甲酯、二乙二醇丁醚中至少一种。
【专利技术属性】
技术研发人员:王斌,石亮,葛荘,丁闯,崔梦德,丁颖颖,
申请(专利权)人:江苏富乐华功率半导体研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:
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