【技术实现步骤摘要】
本技术涉及芯片加工,具体为一种芯片生产用的芯片清洗装置。
技术介绍
1、众所周知,芯片清洗,是芯片加工的一种重要过程中;
2、申请号cn202120251941.8,专利名称为一种芯片清洗装置,公开了一种芯片清洗装置,包括底板、调节机构和分隔放置机构;底板:其上表面中部设有清洗槽,清洗槽的左右表面对称设有超声波发生器,清洗槽的左右壁面对称设有换能器,底板的上表面中部后端设有直角支撑板;调节机构:设置于直角支撑板的水平板体上;分隔放置机构:设置于调节机构的下端;其中:底板的上表面设有控制开关组,控制开关组的输入端电连接外部电源,超声波发生器的输入端电连接控制开关组的输出端,超声波发生器的输出端电连接换能器的输入端,该芯片清洗装置,防止芯片进入清洗溶液时受浮力影响而发生位移,实现芯片的高效清洗,避免芯片清洗时受损,便于工作人员取出清洗后的芯片。
3、上述结构还存在设备驱动不稳定,不方便装配和拆卸芯片的缺点,在清洗完成后,芯片上上容易存在残液,不方便通过风吹清理。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足,本技术提供了一种芯片生产用的芯片清洗装置。
3、(二)技术方案
4、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种芯片生产用的芯片清洗装置,包括清洗箱、升降组件和夹持组件,所述清洗箱上设置有带上开口的清理腔,所述升降组件包括呈倒l形的机架、第一升降器、支撑框和底框,所述机架与所述清洗箱上壁一端中心连接,所述
5、为了方便吹气烘干物料,本技术改进有,所述升降板内嵌入有循环管,所述循环管下方设置有贯通下压块的出气孔,所述循环管的进气管从升降板侧壁延伸出。
6、优选的,所述第一升降器和第二升降器均采用气缸。
7、为了方便滤水,本技术改进有,所述盛放槽周侧还设置有清理孔。
8、为了方便放水,本技术改进有,所述清洗箱底壁一侧还设置有出料管,所述出料管上设置有开关阀。
9、优选的,所述开关阀采用电磁阀。
10、优选的,所述下压块下方设置有若干组凹槽。
11、(三)有益效果
12、与现有技术相比,本技术提供了一种芯片生产用的芯片清洗装置,具备以下有益效果:
13、该芯片生产用的芯片清洗装置,芯片放置在底框的盛放槽内,然后启动第二升降器,第二升降器带动下压块抵住芯片,保证夹持的稳定性,然后再第一升降器的带动下,物料进入清洗箱内上下晃动清洗,在通过循环管对物料进行吹干。
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1.一种芯片生产用的芯片清洗装置,包括清洗箱(1)、升降组件和夹持组件,其特征在于:所述清洗箱(1)上设置有带上开口的清理腔,所述升降组件包括呈倒L形的机架(2)、第一升降器(3)、支撑框(4)和底框(5),所述机架(2)与所述清洗箱(1)上壁一端中心连接,所述第一升降器(3)贯通所述机架(2)顶壁并与所述支撑框(4)顶壁连接,所述支撑框(4)呈匚形,所述支撑框(4)的两自由端与所述底框(5)左右侧壁连接,所述底框(5)上设置有若干组盛放槽,所述支撑框(4)底壁还设置有用于抵住物料的夹持组件,所述夹持组件包括第二升降器(6)、升降板(7)和下压块(8),所述第二升降器(6)上下两端分别与所述支撑框(4)顶壁和升降板(7)连接,所述升降板(7)下方设置有与所述盛放槽适配的下压块(8)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置,其特征在于:所述升降板(7)内嵌入有循环管(9),所述循环管(9)下方设置有贯通下压块(8)的出气孔,所述循环管(9)的进气管从升降板(7)侧壁延伸出。
3.根据权利要求2所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置,其特征在于:所
4.根据权利要求3所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置,其特征在于:所述盛放槽周侧还设置有清理孔。
5.根据权利要求4所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置,其特征在于:所述清洗箱(1)底壁一侧还设置有出料管(10),所述出料管(10)上设置有开关阀(11)。
6.根据权利要求5所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置,其特征在于:所述开关阀(11)采用电磁阀。
7.根据权利要求6所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置,其特征在于:所述下压块(8)下方设置有若干组凹槽。
...【技术特征摘要】
1.一种芯片生产用的芯片清洗装置,包括清洗箱(1)、升降组件和夹持组件,其特征在于:所述清洗箱(1)上设置有带上开口的清理腔,所述升降组件包括呈倒l形的机架(2)、第一升降器(3)、支撑框(4)和底框(5),所述机架(2)与所述清洗箱(1)上壁一端中心连接,所述第一升降器(3)贯通所述机架(2)顶壁并与所述支撑框(4)顶壁连接,所述支撑框(4)呈匚形,所述支撑框(4)的两自由端与所述底框(5)左右侧壁连接,所述底框(5)上设置有若干组盛放槽,所述支撑框(4)底壁还设置有用于抵住物料的夹持组件,所述夹持组件包括第二升降器(6)、升降板(7)和下压块(8),所述第二升降器(6)上下两端分别与所述支撑框(4)顶壁和升降板(7)连接,所述升降板(7)下方设置有与所述盛放槽适配的下压块(8)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用的芯片清洗装置,其特征在于:所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:金正俊,徐爱云,
申请(专利权)人:泗洪中芯半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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