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一种芯片生产用的芯片清洗装置制造方法及图纸
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下载一种芯片生产用的芯片清洗装置的技术资料
文档序号:43338008
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本技术涉及芯片加工技术领域,具体为一种芯片生产用的芯片清洗装置,包括清洗箱、升降组件和夹持组件,所述清洗箱上设置有带上开口的清理腔,所述升降组件包括呈倒L形的机架、第一升降器、支撑框和底框,所述机架与所述清洗箱上壁一端中心连接,所述第一升降...
该专利属于泗洪中芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泗洪中芯半导体有限公司授权不得商用。
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