基于偏振的双帧干涉图相位提取方法技术

本发明专利技术公开的一种基于偏振的双帧干涉图相位提取方法，属于光电测量技术领域。本发明专利技术实现方法为：通过采集系统采集第一张干涉图；在采集系统加入一个偏振片，采集第二张干涉图，第二张干涉图与第一张干涉图的相位差为pi/2；通过利用反正切方法获取包裹相位Φ，使用二维快速解包裹算法进行解包裹，从而恢复出被测面形的真实相位，即基于偏振实现双帧干涉图相位提取。本发明专利技术仅需要两帧相位差为pi/2的干涉图，用极值法处理后直接进行正切反正切的相位提取方法，进而恢复面形。本发明专利技术不需要移相器、分光元件等高精度元器件，并且无需对干涉图进行归一化、去噪等预处理操作，具有光路简单、测量范围大、精度高、效率高的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于偏振的双帧干涉图相位提取方法，尤其涉及一种大范围、高精度、易操作的测量方法，属于光电测量。

技术介绍

1、干涉测量是评价光学元件和光束质量的一种高精度检测方法，并且在其发展历程中为了适应不同的需求发展出了多种不同结构的干涉仪。移相干涉技术(psi)不是某一种具体结构的干涉仪，而是一种能应用于多种测量环境和不同结构干涉仪的数据获取以及分析方法。在干涉仪的参考波前和被测波前之间引入时变相移(time varying phaseshift)，在干涉图中就会产生对应的时变信号(time-varying signal)，那么参考波前和被测波前的相对相位就会被编码到这些信号中。在传统的四步相移法中，首先基于压电驱动器的精确相移获取四幅干涉图，然后进行包裹相位(wrapped phase)的计算，得到四幅干涉图后，可以通过一个简单的反三角函数运算求得包裹相位，最后对包裹相位进行解包裹运算得到原始相位。由于在测量过程中受到平台扰动、光路中的气流等影响，每张干涉图的误差值也会不一样。需要的干涉图数量越多，采集时间越长，干涉图之间的误差也会越大，因此需要本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.基于偏振的双帧干涉图相位提取方法，其特征在于：包括如下步骤：

2.如权利要求1所述基于偏振的双帧干涉图相位提取方法，其特征在于：采集系统包括激光器、准直扩束器、偏振分束器、1/4波片、参考镜、被测镜和CCD；

3.如权利要求2所述基于偏振的双帧干涉图相位提取方法，其特征在于：采集系统还包括一个偏振片，偏振片位于最后一个1/4波片与CCD之间。

【技术特征摘要】

1.基于偏振的双帧干涉图相位提取方法，其特征在于：包括如下步骤：

2.如权利要求1所述基于偏振的双帧干涉图相位提取方法，其特征在于：采集系统包括激光器、准直扩束器、偏振分束器...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵伟瑞，胡智博，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：