【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多分镜头无掩膜光刻的帧化方法，特别是基于空间光调制器倾斜式扫描无掩膜光刻系统的直帧式曝光方法中的多分镜头的帧化方法。
技术介绍
1、自kin foong chan等人首次提出倾斜扫描技术(doi:10.1117/1.1611182)以来，倾斜式无掩膜光刻技术得到了长足的发展。然而，倾斜扫描式光刻的现有的数据处理过程路径非常长，不仅导致每个处理环节数据规模极大，同时对各个处理单元要求极高。究其原因是条带栅格化的分辨率的提高，导致数据规模的极度上升和对数据处理能力的提高，对实时性要求越来越高的无掩膜光刻，需要更先进的数据处理方法或更先进的硬件。
2、2012年申请的cn102914949b的提供的步骤为图形预处理，栅格化处理，重新组合(倾斜处理，生成帧图像)，曝光显示；具体来说，核心步骤为：图形变换，条带切割，栅格化，倾斜处理，生成帧图像和曝光显示，生成帧图像是无掩膜光刻过程中数据处理的根本目的。其中，
3、图形变换，是指将图形文件的坐标与系统内坐标对齐的过程；
4、条带切割，是指将上述对齐后的图形或图形副本，按作用区域将切分成多个图形集合并分配的过程；
5、栅格化，是指上述将条带图形按预设的精度生成条带位图的过程；倾斜扫描下，所生成的栅格化位图极大，计算量也较大，然后再传输到数据处理单元进行倾斜处理。
6、倾斜处理，是指将栅格化位图按倾斜角反向错切的过程；错切变换，即y方向逐步下移或上拉(取决于倾斜角度的方向)，x方向位置不变。
7、生成帧图像，
8、上述方法仅针对一个数据处理单元仅输出一个条带进行设计的，事实应用中，空调光调制器仅配置使用一部分。如图1和图2所示，专利jp2012247711a(tw201300968a)和专利cn206400259u提供了提高无掩膜光刻的效率的新的光学方案，通过一个空间光调制器，经过光学分割成多路图像，在不增空间光调制器和数据处理单元数量的情况下增加同时扫描的条带数量，从而增加单次扫描的宽度，实现单次扫描产能成倍提升的效果。
9、目前尚没有发现如何有效地实现实时多分帧图像的生成方法。为了有效的帧图像，本专利技术提出了一种多分帧图像生成方法，根据扫描倾斜角对空间光调制器负责的多个待曝光条图形进行反向倾斜处理，然后通过构造特殊的帧化矩形，依次对反倾斜后的待曝光条带图形进行截窗，将所得的多边形集进行按成像区域的像素配置进行多边形填充，将获得的多个区域帧图像按成像区域的像素配置合并成帧图像，完成帧化过程。
技术实现思路
1、本专利技术提出的一种多分镜头反倾斜直接帧化法、设备及存储介质，可至少解决
技术介绍
中的技术问题之一。
2、为实现上述目的，本专利技术采用了以下技术方案：
3、一种多分镜头反倾斜直接帧化法，包括以下步骤，
4、s1：根据扫描倾斜角，对给定的各成像区域条带图形进行反倾斜处理，得到各成像区域的待曝光条带图形；根据给定的各成像区域扫描起始位置和扫描结束位置确定帧化起始位置和帧化结束位置；
5、s2：根据成像区域的配置和上述所得的各成像区域的帧化起始位置构造各成像区域帧化矩形；
6、s3：利用上述所得的各成像区域帧化矩形和相应的成像区域的待曝光条带图形的截窗，按像方像素精度对截窗内的多边形进行填充处理，得到各成像区域的区域帧图像；
7、s4：通过判定当前位置的各成像区域帧化矩阵内像素坐标与各成像区域的条带图形之间的包含关系，确定当前帧化位置的各成像区域所有像素点的开关，得到各成像区域的区域帧图像；
8、s5：按各成像区域所配置的行序和列序，合并各区域帧图像成全区域帧图像；
9、s6：更新当前帧化位置和各成像区域的帧化矩阵；
10、s7：重复上述s3到s6过程，直至帧化结束。
11、进一步地，所述的成像区域是指从空间光调制器的像素区域划分出来的用于多分镜头单路输出的区域，包含了若干连续的行和列的像素。
12、进一步地，所述的成像区域的配置是指划分成像区域时像素行数、像素列数、起始行号、起始列号以及其像素成像后的尺寸。
13、进一步地，所述的成像区域的行序是指当前成像区域的起始行号相较于配置的空间光调制器的起始行号的偏移量。
14、进一步地，所述的成像区域的列序是指当前成像区域的起始列号相较于配置的空间光调制器起始列号的偏移量。
15、进一步地，所述的s1步骤反倾斜处理的反倾斜变换矩阵为：反倾斜角α＝-θ。
16、进一步地，所述的反倾斜变换矩阵，任意点(xr,yr)为旋转中心，选择(0,0)，此时反倾斜变换矩阵为反倾斜角α＝-θ。
17、进一步地，各成像区域的帧化起始位置构造成像区域帧化矩形方法如下：
18、先构造各成像区域的初始帧化矩形，再将所得的各成像区域的初始帧化矩形平移矩阵到帧化起始位置，获得各成像区域起始位置的帧化矩形。
19、进一步地，步骤s3中的填充处理即帧填充算法包括扫描线算法，边界填充算法，洪水填充算法，序边表法，三边形法，种子标记算法，扫描线多边形裁剪算法之一。
20、进一步地，对各成像区帧化矩形各顶点坐标更新的方法有，累加求值法和计数求值法。
21、进一步地，选择帧化结束的判据包括从多个成像区域的帧化起始位置和帧化结束位置中任意选择一组作为全局的帧化起始位置和帧化结束位置。
22、又一方面，本专利技术还公开一种计算机可读存储介质，存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，使得所述处理器执行如上述方法的步骤。
23、再一方面，本专利技术还公开一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时，使得所述处理器执行如上方法的步骤。
24、由上述技术方案可知，本专利技术多分镜头反倾斜直接帧化法不仅可以实时生成多分帧图像，也减少了中间栅格化条带图形，倾斜条带图像处理步骤，减少了中间数据的生成和传输时间，也提高了单次曝光中从图形变换到开始曝光过程的等待时间；通过本专利技术的实施，不仅减少主机硬件的投入，也降低空间光调制器和数据处理单元的投入，也将极大提高曝光的响应时间和单位时间内的制程能力。
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1.一种多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于，包括以下步骤，
2.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的成像区域是指从空间光调制器的像素区域划分出来的用于多分镜头单路输出的区域，包含了若干连续的行和列的像素。
3.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的成像区域的配置是指划分成像区域时像素行数、像素列数、起始行号、起始列号以及其像素成像后的尺寸。
4.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的S1步骤反倾斜处理的反倾斜变换矩阵为：反倾斜角α＝-θ。
5.根据权利要求4所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的反倾斜变换矩阵，任意点(xr,yr)为旋转中心，选择(0,0)，此时反倾斜变换矩阵为反倾斜角α＝-θ。
6.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于，各成像区域的帧化起始位置构造成像区域帧化矩形方法如下：
7.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于，步骤S3中的填充处理即帧填充算法包括扫描线算
8.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于，对各成像区帧化矩形各顶点坐标更新的方法包括累加求值法和计数求值法。
9.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于，选择帧化结束的判据包括从多个成像区域的帧化起始位置和帧化结束位置中任意选择一组作为全局的帧化起始位置和帧化结束位置。
10.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有可执行程序，所述的处理器为CPU、GPU、FPGA或TPU，所述可执行程序被所述处理器执行时，使得所述处理器执行如权利要求1至9中任一项所述方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于，包括以下步骤，
2.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的成像区域是指从空间光调制器的像素区域划分出来的用于多分镜头单路输出的区域，包含了若干连续的行和列的像素。
3.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的成像区域的配置是指划分成像区域时像素行数、像素列数、起始行号、起始列号以及其像素成像后的尺寸。
4.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的s1步骤反倾斜处理的反倾斜变换矩阵为：反倾斜角α＝-θ。
5.根据权利要求4所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的反倾斜变换矩阵，任意点(xr,yr)为旋转中心，选择(0,0)，此时反倾斜变换矩阵为反倾斜角α＝-θ。
6.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于，各...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞庆平，俞逸骐，
申请(专利权)人：合肥睿翼创智技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：
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