多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备制造技术

本发明专利技术一种多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备，旨在解决多分镜头无掩膜光刻系统中数据处理路径长、处理单元要求高及实时性不足的问题，通过提出一种反倾斜直接帧化法，对各成像区域条带图形进行反倾斜处理，直接构造帧化矩形并进行多边形填充，最终合并为全区域帧图像，实现多分帧图像的实时生成，通过本发明专利技术的实施，减少了中间步骤，缩减了数据量和传输时间；优化了空间光调制器和数据处理单元的使用，减少了主机硬件的投入；提高了曝光响应时间和单位时间内的制程能力，增强了系统的实时性，提升了制程能力和曝光效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及多分镜头无掩膜光刻的帧化方法，特别是基于空间光调制器倾斜式扫描无掩膜光刻系统的直帧式曝光方法中的多分镜头的帧化方法。

技术介绍

1、自kin foong chan等人首次提出倾斜扫描技术(doi:10.1117/1.1611182)以来，倾斜式无掩膜光刻技术得到了长足的发展。然而，倾斜扫描式光刻的现有的数据处理过程路径非常长，不仅导致每个处理环节数据规模极大，同时对各个处理单元要求极高。究其原因是条带栅格化的分辨率的提高，导致数据规模的极度上升和对数据处理能力的提高，对实时性要求越来越高的无掩膜光刻，需要更先进的数据处理方法或更先进的硬件。

2、2012年申请的cn102914949b的提供的步骤为图形预处理，栅格化处理，重新组合(倾斜处理，生成帧图像)，曝光显示；具体来说，核心步骤为：图形变换，条带切割，栅格化，倾斜处理，生成帧图像和曝光显示，生成帧图像是无掩膜光刻过程中数据处理的根本目的。其中，

3、图形变换，是指将图形文件的坐标与系统内坐标对齐的过程；

4、条带切割，是指将上述对齐后的图形或图形副本，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于，包括以下步骤，

2.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的成像区域是指从空间光调制器的像素区域划分出来的用于多分镜头单路输出的区域，包含了若干连续的行和列的像素。

3.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的成像区域的配置是指划分成像区域时像素行数、像素列数、起始行号、起始列号以及其像素成像后的尺寸。

4.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的S1步骤反倾斜处理的反倾斜变换矩阵为：反倾斜角α＝-θ。

5.根据权利要求4所...

【技术特征摘要】

1.一种多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于，包括以下步骤，

2.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的成像区域是指从空间光调制器的像素区域划分出来的用于多分镜头单路输出的区域，包含了若干连续的行和列的像素。

3.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的成像区域的配置是指划分成像区域时像素行数、像素列数、起始行号、起始列号以及其像素成像后的尺寸。

4.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的s1步骤反倾斜处理的反倾斜变换矩阵为：反倾斜角α＝-θ。

5.根据权利要求4所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于：所述的反倾斜变换矩阵，任意点(xr,yr)为旋转中心，选择(0,0)，此时反倾斜变换矩阵为反倾斜角α＝-θ。

6.根据权利要求1所述的多分镜头反倾斜直接帧化法，其特征在于，各...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞庆平，俞逸骐，
申请(专利权)人：合肥睿翼创智技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：