无掩膜光刻的求交直接帧化方法、设备及存储介质技术

主控机负责本发明专利技术的一种无掩膜光刻的求交直接帧化方法、设备及存储介质，涵盖了一种高效的方法、相应的设备及可实施该方法的存储介质。方法依据空间光调制器像方的具体倾斜角度、尺寸规格及其配置的分辨率，构建出帧化矩阵；通过沿着预设的扫描路径，按照给定的扫描步长逐步位移帧化矩阵，通过判定待曝光条带图形对帧化矩阵内的像素点坐标包含关系，确定像素点的开关，完成帧化过程。本发明专利技术依赖待曝光条带图形与帧化矩阵像素点坐标之间的包含关系，进行帧图像的构造，减少了中间栅格化条带图形，倾斜条带图像处理步骤，减少了中间数据的生成和传输时间，也提高了单次曝光中从图形变换到开始曝光过程的等待时间。本发明专利技术实施方法思路简单清晰，易于实现。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及直帧式无掩膜光刻的帧化，特别是基于空间光调制器倾斜式扫描无掩膜光刻系统的直帧式曝光方法中的帧化方法。

技术介绍

1、自kin foong chan等人首次提出倾斜扫描技术(doi:10.1117/1.1611182)以来，倾斜式无掩膜光刻技术得到了长足的发展。然而，倾斜扫描式光刻的现有的数据处理过程路径非常长，不仅导致每个处理环节数据规模极大，同时对各个处理单元要求极高。究其原因是条带栅格化的分辨率的提高，导致数据规模的极度上升和对数据处理能力的提高，对实时性要求越来越高的无掩膜光刻，需要更先进的数据处理方法或更先进的硬件。

2、2012年申请的cn102914949b的提供的步骤为图形预处理，栅格化处理，重新组合(倾斜处理，生成帧图像)，曝光显示；具体来说，核心步骤为：图形变换，条带切割，栅格化，倾斜处理，生成帧图像和曝光显示，生成帧图像是无掩膜光刻过程中数据处理的根本目的。

3、其中，

4、图形变换，是指将图形文件的坐标与系统内坐标对齐的过程；

5、条带切割，是指将上述对齐后的图形或图形副本本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种无掩膜光刻的求交直接帧化方法，其特征在于，包括根据扫描倾斜角、配置分辨率和像方像素宽度构建帧化矩阵，按扫描方向和扫描步长逐帧改变帧化矩阵，判断待曝光条带图形内的多边形与帧化矩阵内的像素点坐标的包含关系，确定相应像素点的开关，完成帧化过程；

2.根据权利要求1所述的无掩膜光刻的求交直接帧化方法，其特征在于：所述的帧化矩阵是一个点坐标矩阵，矩阵的行列数与配置的空间光调制器像素行列数相同，每个矩阵元素为像素点坐标，可通过像素的行列号索引获取像素点的坐标。

3.根据权利要求1所述的无掩膜光刻的求交直接帧化方法，其特征在于：所述的帧化起点位置的帧化矩阵的构造方法为：...

【技术特征摘要】

1.一种无掩膜光刻的求交直接帧化方法，其特征在于，包括根据扫描倾斜角、配置分辨率和像方像素宽度构建帧化矩阵，按扫描方向和扫描步长逐帧改变帧化矩阵，判断待曝光条带图形内的多边形与帧化矩阵内的像素点坐标的包含关系，确定相应像素点的开关，完成帧化过程；

2.根据权利要求1所述的无掩膜光刻的求交直接帧化方法，其特征在于：所述的帧化矩阵是一个点坐标矩阵，矩阵的行列数与配置的空间光调制器像素行列数相同，每个矩阵元素为像素点坐标，可通过像素的行列号索引获取像素点的坐标。

3.根据权利要求1所述的无掩膜光刻的求交直接帧化方法，其特征在于：所述的帧化起点位置的帧化矩阵的构造方法为：

4.根据权利要求3所述的无掩膜光刻的求交直接帧化方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞庆平，俞逸骐，
申请(专利权)人：合肥睿翼创智技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：