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主控机负责本发明的一种无掩膜光刻的求交直接帧化方法、设备及存储介质,涵盖了一种高效的方法、相应的设备及可实施该方法的存储介质。方法依据空间光调制器像方的具体倾斜角度、尺寸规格及其配置的分辨率,构建出帧化矩阵;通过沿着预设的扫描路径,按照给定...该专利属于合肥睿翼创智技术开发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥睿翼创智技术开发有限公司授权不得商用。
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主控机负责本发明的一种无掩膜光刻的求交直接帧化方法、设备及存储介质,涵盖了一种高效的方法、相应的设备及可实施该方法的存储介质。方法依据空间光调制器像方的具体倾斜角度、尺寸规格及其配置的分辨率,构建出帧化矩阵;通过沿着预设的扫描路径,按照给定...