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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶硅制造,尤其涉及一种烧结装置及其烧结方法。
技术介绍
1、在太阳能晶硅板制造工艺中,晶硅片表面局部刷一层金属浆料层,金属浆料层可为银或铝,再将晶硅片放入烧结箱中进行加热烧结,烧结时晶硅片表面的金属层与晶硅片在高温下融合,最终二者形成欧姆接触。烧结工艺包括首先进行的烘干排焦工序,其目的是将浆料中的焦油通过高温挥发出来,由于烘干排焦工序在烧结炉箱内进行,烧结炉箱内形成有指定方向流通的气流,以及时将挥发的焦油排出,但是由于晶硅片沿烧结炉箱长条形摆放,处于气流流动至其流动方向末端的晶硅片时,气流中携带的焦油挥发物含量大大增加,使得该部分晶硅片附近焦油挥发物浓度增大,导致焦油挥发速度减缓,影响排油效率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种烧结装置及其烧结方法,焦油挥发效率高,烧结控温精度高。
2、本专利技术公开了一种烧结装置,包括烧结箱箱体、隔箱主体、主杆,隔箱主体位于烧结箱箱体内,烧结箱箱体、隔箱主体均轴向贯通,隔箱主体外壁与烧结箱箱体内壁之间形成有流道一,烧结箱箱体轴向一端进气另一端出气,流道一内通入气体后气体沿烧结箱箱体轴向流通;主杆插入隔箱主体内,主杆安装有模块,模块能够安装工件体,模块外壁与隔箱主体内壁之间形成有流道二,隔箱主体轴向一端进气另一端出气,流道二内通入气体后气体流通方向与流道一内的气体流通方向相同,隔箱主体周向外壁设有通气孔,通气孔轴向两端分别连通流道一、流道二,当流道一内气体流速小于流道二内气体流速,流道
3、进一步的,模块一侧设有槽体,槽体贯通模块一侧侧壁,主杆能够插入槽体,主杆部分外壁与槽体内壁贴合,主杆为圆柱形。
4、进一步的,隔箱主体周向外壁设有孔道一,隔箱主体包括位于顶部的盖板,盖板设有孔道二,通气孔包括孔道一、孔道二。
5、进一步的,还包括滑杆,滑杆与主杆同轴设置,滑杆能够沿主杆轴向移动,以使滑杆能够靠近并抵接主杆或远离主杆,滑杆安装有封盖,滑杆抵接主杆时,封盖封堵隔箱主体轴向一端端面,封盖设有进气口并在进气口处安装有气管二。
6、进一步的,烧结箱箱体轴向一端端面安装有端盖一,端盖一安装主杆,主杆一端插入端盖一固定,主杆底部安装有支撑架二,支撑架二底部与烧结箱箱体底部内壁固定。
7、进一步的,烧结箱箱体轴向一端端面安装有端盖二,端盖二安装有气管一。
8、进一步的,烧结箱箱体顶部可拆卸安装有顶盖。
9、进一步的,主杆安装有压板一,压板一内壁与主杆通过轴承一连接,滑杆安装有压板二,压板二内壁与滑杆通过轴承二连接,模块位于压板一与压板二之间,滑杆抵接主杆时,压板一与压板二分别压紧模块,以使压板一转动时能够带动压板二、模块同步转动。
10、本专利技术还公开了一种烧结方法,使用烧结装置,包括如下步骤:
11、s1入料:
12、将工件体安装到模块;
13、将模块安装于主杆,模块位于隔箱主体内;
14、s2烘干排焦:
15、流道一、流道二内通入热空气并对涂覆在工件体表面的浆料层进行烘干,控制流道一内气体流速大于流道二内气体流速,使得流道一内气体压力小于流道二内气体压力,流道二内的部分气体沿通气孔流入流道一内;
16、s3烧结:
17、流道一、流道二内通入热空气并对工件体的浆料层产生烧结作用,控制流道一内气体流速小于流道二内气体流速,以使流道一内气体压力大于流道二内气体压力,流道一内的部分气体沿通气孔流入流道二内。
18、本专利技术的有益效果:
19、1、在烘干排焦阶段通过控制流道一内气体流速大于流道二内气体流速,使得流道一内气体压力小于流道二内气体压力,流道二内的部分气体沿孔道一、孔道二流入流道一内,挥发的部分焦油气体随之流至流道一,从而使流道二内的焦油气体浓度降低,以提高浆料层的焦油挥发效率。
20、2、在烧结阶段通过控制流道一内气体流速小于流道二内气体流速,使得流道一内气体压力大于流道二内气体压力,流道一内的部分气体沿孔道一、孔道二流入流道二内,以补充流道二内空气对工件体的浆料层产生烧结作用后流失的热量,从而有利于维持流道二内温度的稳定性,提高成品质量。
21、3、通过设置流道一、流道二以及设置在道一、流道二之间的孔道一、孔道二,能够在烘干排焦时产生的焦油快速排出,以避免烧结时挥发的焦油对烧结工序产生影响。
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1.一种烧结装置,其特征在于,包括烧结箱箱体(1)、隔箱主体(2)、主杆(17),所述隔箱主体(2)位于所述烧结箱箱体(1)内,所述烧结箱箱体(1)、隔箱主体(2)均轴向贯通,所述隔箱主体(2)外壁与所述烧结箱箱体(1)内壁之间形成有流道一(7),所述烧结箱箱体(1)轴向一端进气另一端出气,所述流道一(7)内通入气体后气体沿所述烧结箱箱体(1)轴向流通;
2.根据权利要求1所述的一种烧结装置,其特征在于,所述模块(5)一侧设有槽体(51),槽体(51)贯通所述模块(5)一侧侧壁,所述主杆(17)能够插入所述槽体(51),所述主杆(17)部分外壁与所述槽体(51)内壁贴合,所述主杆(17)为圆柱形。
3.根据权利要求1所述的一种烧结装置,其特征在于,所述隔箱主体(2)周向外壁设有孔道一(21),所述隔箱主体(2)包括位于顶部的盖板(22),所述盖板(22)设有孔道二(221),所述通气孔包括所述孔道一(21)、孔道二(221)。
4.根据权利要求1所述的一种烧结装置,其特征在于,还包括滑杆(18),所述滑杆(18)与所述主杆(17)同轴设置,所述
5.根据权利要求1所述的一种烧结装置,其特征在于,所述烧结箱箱体(1)轴向一端端面安装有端盖一(16),所述端盖一(16)安装所述主杆(17),所述主杆(17)一端插入所述端盖一(16)固定,所述主杆(17)底部安装有支撑架二(13),所述支撑架二(13)底部与所述烧结箱箱体(1)底部内壁固定。
6.根据权利要求1所述的一种烧结装置,其特征在于,所述烧结箱箱体(1)轴向一端端面安装有端盖二(19),所述端盖二(19)安装有气管一(191)。
7.根据权利要求1所述的一种烧结装置,其特征在于,所述烧结箱箱体(1)顶部可拆卸安装有顶盖(11)。
8.根据权利要求4所述的一种烧结装置,其特征在于,所述主杆(17)安装有压板一(3),所述压板一(3)内壁与所述主杆(17)通过轴承一(31)连接,所述滑杆(18)安装有压板二(4),所述压板二(4)内壁与所述滑杆(18)通过轴承二(41)连接,所述模块(5)位于所述压板一(3)与压板二(4)之间,所述滑杆(18)抵接所述主杆(17)时,所述压板一(3)与压板二(4)分别压紧所述模块(5),以使所述压板一(3)转动时能够带动所述压板二(4)、所述模块(5)同步转动。
9.一种烧结方法,使用权利要求1-8任一所述的烧结装置,其特征在于,包括如下步骤:
...【技术特征摘要】
1.一种烧结装置,其特征在于,包括烧结箱箱体(1)、隔箱主体(2)、主杆(17),所述隔箱主体(2)位于所述烧结箱箱体(1)内,所述烧结箱箱体(1)、隔箱主体(2)均轴向贯通,所述隔箱主体(2)外壁与所述烧结箱箱体(1)内壁之间形成有流道一(7),所述烧结箱箱体(1)轴向一端进气另一端出气,所述流道一(7)内通入气体后气体沿所述烧结箱箱体(1)轴向流通;
2.根据权利要求1所述的一种烧结装置,其特征在于,所述模块(5)一侧设有槽体(51),槽体(51)贯通所述模块(5)一侧侧壁,所述主杆(17)能够插入所述槽体(51),所述主杆(17)部分外壁与所述槽体(51)内壁贴合,所述主杆(17)为圆柱形。
3.根据权利要求1所述的一种烧结装置,其特征在于,所述隔箱主体(2)周向外壁设有孔道一(21),所述隔箱主体(2)包括位于顶部的盖板(22),所述盖板(22)设有孔道二(221),所述通气孔包括所述孔道一(21)、孔道二(221)。
4.根据权利要求1所述的一种烧结装置,其特征在于,还包括滑杆(18),所述滑杆(18)与所述主杆(17)同轴设置,所述滑杆(18)能够沿所述主杆(17)轴向移动,以使所述滑杆(18)能够靠近并抵接所述主杆(17)或远离所述主杆(17),所述滑杆(18)安装有封盖(42),所述滑杆(18)抵接所述主杆(17)时,所述封盖(42)封堵所述隔箱主体(2)轴向一...
【专利技术属性】
技术研发人员:王庆钱,周炜,华松,雷杰,
申请(专利权)人:江西钛创新能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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