【技术实现步骤摘要】
本申请涉及扫描显微领域，具体涉及一种扫描电子显微成像系统及显微测量方法。
技术介绍
1、扫描电子显微镜是一种电子扫描成像设备，包括镜筒、样品舱、探测系统、成像系统、样品台以及运动平台，其中探测系统、样品台、运动平台均设置于样品舱内，样品台用于放置样品，运动平台用于控制样品台进行运动，镜筒用于形成高能电子束发射至样品，探测系统用于收集反射和/或透射的电子，成像系统则基于探测系统的探测信息形成图像。使用扫描电子显微镜进行样品扫描时，为了电子束能够无阻碍地到达样品，在扫描过程中，需要对镜筒和样品舱进行抽真空处理，而样品舱内的设备数量较多，导致样品舱占用的空间较大，抽真空的等待时间长，导致测量效率低。
技术实现思路
1、本申请主要解决的技术问题是现有技术中扫描电子显微镜的抽真空等待时间长，测量效率低的问题。
2、为了解决上述技术问题，本申请实施例中提供一种扫描电子显微成像系统，包括：
3、样品台，用于放置样品；
4、真空舱，具有沿其轴线方向相对的装配端和密封端，...
【技术保护点】
1.一种扫描电子显微成像系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述样品台包括沿所述轴线方向相对设置的承载部和连接部，所述承载部用于放置所述样品，所述连接部用于与所述运动平台可脱离的连接。
3.如权利要求2所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述承载部具有样品槽，所述样品槽的开口朝向所述密封端设置；所述样品槽的容置空间与所述容纳腔共同组成所述样品腔。
4.如权利要求3所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述样品槽具有用于放置所述样品的承载面，所述承载面为垂直于所述轴线方向的平面或具有
【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微成像系统，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述样品台包括沿所述轴线方向相对设置的承载部和连接部，所述承载部用于放置所述样品，所述连接部用于与所述运动平台可脱离的连接。
3.如权利要求2所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述承载部具有样品槽，所述样品槽的开口朝向所述密封端设置；所述样品槽的容置空间与所述容纳腔共同组成所述样品腔。
4.如权利要求3所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述样品槽具有用于放置所述样品的承载面，所述承载面为垂直于所述轴线方向的平面或具有预设夹角的斜面。
5.如权利要求3所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述样品台还包括弹性密封件，所述弹性密封件环绕于所述样品槽，设置于所述样品台靠近所述密封端的端面。
6.如权利要求5所述的扫描电子显微成像系统，其特征在于，所述弹性密封件包括o...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱春涛，邹功文，郭积健，张和君，
申请(专利权)人：深圳市中图仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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