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一种扫描电子显微成像系统及显微测量方法，包括：样品台，用于放置样品；真空舱，具有装配端和密封端，真空舱的内部形成有贯通装配端和密封端布置的容纳腔；镜筒，用于加速电子并射出电子束至样品；镜筒设置于装配端，并与容纳腔密封连通；运动平台，用于承载...
该专利属于深圳市中图仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市中图仪器股份有限公司授权不得商用。

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