膜筒及膜监控系统技术方案

本申请实施例提供一种膜筒和膜监控系统，所述膜筒包括：筒结构，表面缠绕有待检测膜；监控模块，设置于所述筒结构外侧面，位于所述待检测膜尾部与所述筒结构表面之间。通过在待检测膜的尾部位置与所述膜筒间，增加设置了监控模块，使得在待检测膜使用完时，所述监控模块可以及时监控到所述待检测膜的使用情况，并且由于位于所述待检测膜的尾部，可以保证检测到所述待检测膜使用完毕时，保证全部所述待检测膜均被使用，从而提高所述带监测膜的利用率。

【技术实现步骤摘要】

本申请实施例涉及半导体制造领域，具体涉及一种膜筒及膜监控系统。

技术介绍

1、芯片的制造流程中需要对芯片的正面或背面进行贴膜保护。在所述贴膜工艺的过程中需要实时对待使用的膜的剩余量进行监控，以避免膜已消耗完毕时所述贴膜工艺仍在继续，导致设备故障。为保证监控的可靠性，监测时会保留一定膜的剩余量，以便能有效报警。但是被保留膜无法被利用，会产生大量的浪费。

2、因此，如何保证在监控膜的使用情况中，提高膜的使用率成为本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例提供一种膜筒及膜监控系统，以在监控膜的使用情况的时，提高膜的使用率。

2、为实现上述目的，本申请实施例提供如下技术方案：

3、本申请实施例提供一种膜筒，包括：

4、筒结构；

5、待检测膜，缠绕于所述筒结构外侧面；

6、监控模块，设置于所述筒结构外侧面，位于所述待检测膜底层与所述筒结构表面之间。

7、可选的，所述监控模块位于所述待检测膜尾部与所述筒结构表本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种膜筒，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的膜筒，其特征在于，所述监控模块位于所述待检测膜尾部与所述筒结构表面之间。

3.如权利要求1所述的膜筒，其特征在于，所述监控模块包括：压力传感器。

4.如权利要求1所述的膜筒，其特征在于，所述监控模块的数量为至少2个。

5.如权利要求4所述的膜筒，其特征在于，所述监控模块在所述筒结构外侧面均匀分布。

6.一种膜监控系统，包括如权利要求1所述的膜筒，其特征在于，包括：

7.如权利要求6所述的膜监控系统，其特征在于，所述监控模块包括压力传感器；p>

8.如权利...

【技术特征摘要】

1.一种膜筒，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的膜筒，其特征在于，所述监控模块位于所述待检测膜尾部与所述筒结构表面之间。

3.如权利要求1所述的膜筒，其特征在于，所述监控模块包括：压力传感器。

4.如权利要求1所述的膜筒，其特征在于，所述监控模块的数量为至少2个。

5.如权利要求4所述的膜筒，其特征在于，所述监控模...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈聪，郭东谕，李平，李扬，宋喆宏，
申请(专利权)人：浙江创芯集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：