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浙江创芯集成电路有限公司
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膜筒及膜监控系统技术方案
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文档序号:43138834
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本申请实施例提供一种膜筒和膜监控系统,所述膜筒包括:筒结构,表面缠绕有待检测膜;监控模块,设置于所述筒结构外侧面,位于所述待检测膜尾部与所述筒结构表面之间。通过在待检测膜的尾部位置与所述膜筒间,增加设置了监控模块,使得在待检测膜使用完时,所...
该专利属于浙江创芯集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江创芯集成电路有限公司授权不得商用。
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