压阻式绝压传感器制造技术

本技术提供了一种压阻式绝压传感器，包括：密封板、空腔、感应区；感应区的背面设置有一深坑，密封板密封感应区的背面，形成空腔；深坑内设置有至少四个凸出单元以及至少四个独立的梁单元，梁单元与凸出单元一一对应；四个凸出单元沿深坑的边沿均匀分布，且两两沿深坑的顶面的X方向、Y方向对称设置；梁单元设置于靠近深坑的边沿的位置，梁单元的长轴方向自深坑边沿向深坑的中心方向延伸；感应区的正面设置有至少四个压阻条，用于感测外界压力，其垂直映射至感应区的背面的位置位于凸出单元与梁单元之间。本技术的技术方案，感应区的背面深坑内设置有凸出单元、梁单元；可以提高压阻式绝压传感器的灵敏度、分辨率，同时实现了过载保护。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及压力传感器，尤其涉及一种压阻式绝压传感器。

技术介绍

1、随着全球物联网高速发展，压力传感器的应用领域越来越广泛，应用场景的需求也越来越丰富。mems压力传感器以其小型化、成本低的优点得到大部分使用厂家的青睐。目前大部分已经投入实际应用并产业化的mems压力传感器大部分都用于测量40kpa(人体血压)到100kpa(一个标准大气压)及以上的压力，测量40kpa以下的压力传感器受到多种因素的制约仍存在一定的局限性。在微压应用环境下，传统的mems压力传感器主要需要解决以下两方面的问题：

2、1、绝压芯片过载保护：在某种情况下，绝压芯片可能面临超出其额定压力范围的压力载荷，比如工况下突变的压力环境，或者键合绝压真空腔之后受到外界大气压的作用等。这些压力载荷可能导致芯片内部结构的破坏和功能失效，使得传感器的精度下降，性能衰退甚至完全损坏。

3、2、灵敏度和分辨率：目前的mems压力传感器在微压应用中常常面临灵敏度和分辨率不够的问题。由于微压范围下被测压力的变化较小，为了探测微小压力的变化，压阻式压力传感器的感压膜(敏感结构)厚度本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种压阻式绝压传感器，其特征在于，包括：密封板、空腔以及感应区；其中，

2.根据权利要求1所述的压阻式绝压传感器，其特征在于，所述密封板朝向所述空腔的一面，设置有第一深度的第一凹坑，和第二深度的第二凹坑，所述第二凹坑设置于所述第一凹坑内，所述第二深度大于所述第一深度而形成第一台阶面。

3.根据权利要求2所述的压阻式绝压传感器，其特征在于，所述梁单元在所述密封板上的投影与所述第一台阶面部分重叠。

4.根据权利要求1所述的压阻式绝压传感器，其特征在于，所述梁单元为楔形柱，所述楔形柱的窄端朝向所述深坑中心。

5.根据权利要求1所述的压阻式绝压...

【技术特征摘要】

1.一种压阻式绝压传感器，其特征在于，包括：密封板、空腔以及感应区；其中，

2.根据权利要求1所述的压阻式绝压传感器，其特征在于，所述密封板朝向所述空腔的一面，设置有第一深度的第一凹坑，和第二深度的第二凹坑，所述第二凹坑设置于所述第一凹坑内，所述第二深度大于所述第一深度而形成第一台阶面。

3.根据权利要求2所述的压阻式绝压传感器，其特征在于，所述梁单元在所述密封板上的投影与所述第一台阶面部分重叠。

4.根据权利要求1所述的压阻式绝压传感器，其特征在于，所述梁单元为楔形柱，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄金海，
申请(专利权)人：广州增芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：