弹性波器件、滤波器和多路复用器制造技术

本申请公开了一种弹性波器件、滤波器和多路复用器，涉及集成电路技术领域，所述弹性波器件包括：衬底；在所述衬底上层的压电层以及形成在所述压电层上方的IDT电极；所述衬底的欧拉角为(‑45°±10°，‑54.7°±10°，0°±10°)，或者，(‑45°±10°，‑54.7°±10°，180°±10°)；所述压电层的欧拉角为(0°±10°，48°±4°，0°±10°)，或者，(0°±10°，40°±4°，0°±10°)。解决了现有技术中产生的寄生声学模式会对影响器件的电气性能的问题，达到了可以通过衬底和压电层的欧拉角组合设置进而可以抑制寄生声学模式提高电气性能的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种弹性波器件、滤波器和多路复用器，属于集成电路芯片。

技术介绍

1、在电声谐振器中，由于压电效应，与压电材料组合的电极结构在电磁信号与声学rf信号之间转换。

2、然而，实际实现时，电极结构在产生所需的声学模式之外，还可能会激发寄生声学模式，而寄生声学模式会降低对应滤波器的性能。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种弹性波器件、滤波器和多路复用器，用于解决现有技术中存在的问题。

2、为达到上述目的，本专利技术提供如下技术方案：

3、第一方面，提供了一种弹性波器件，所述弹性波器件包括：

4、衬底；

5、在所述衬底上层的压电层以及形成在所述压电层上方的idt电极；

6、所述衬底的欧拉角为(-45°±10°，-54.7°±10°，0°±10°)，或者，(-45°±10°，-54.7°±10°，180°±10°)；

7、所述压电层的欧拉角为(0°±10°，48°±4°，0°±10°)，或者，(0°±10°，40本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弹性波器件，其特征在于，所述弹性波器件包括：

2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述衬底的欧拉角为(-45°±3°，-54.7°±3°，0°±3°)，或者，(-45°±3°，-54.7°±3°，180°±3°)。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波器件，其特征在于，所述压电层的欧拉角为(0°±3°，48°±3°，0°±3°)，或者，(0°±3°，40°±3°，0°±3°)。

4.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述衬底包括硅，所述压电层包括LiTaO3、LiNbO3、ZnO、A1N和PZT中的至少一种。

5...

【技术特征摘要】

1.一种弹性波器件，其特征在于，所述弹性波器件包括：

2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述衬底的欧拉角为(-45°±3°，-54.7°±3°，0°±3°)，或者，(-45°±3°，-54.7°±3°，180°±3°)。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波器件，其特征在于，所述压电层的欧拉角为(0°±3°，48°±3°，0°±3°)，或者，(0°±3°，40°±3°，0°±3°)。

4.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述衬底包括硅，所述压电层包括litao3、linbo3、zno、a1n和pzt中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述衬底和所述压电层...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙峥，
申请(专利权)人：江苏卓胜微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：