用于高能量损失下的电子能量损失光谱的技术制造技术

描述了用于相对大的能量损失下的能量损失光谱的系统、设备、方法和技术。带电粒子显微镜系统可以包括光束镜筒区段。该光束镜筒区段可以包括针对第一能量校准的一个或多个带电粒子光学元件以及针对第二能量校准的一个或多个带电粒子光学元件。带电粒子显微镜系统可以包括检测器区段。该检测器区段可以设置在光束镜筒区段下游的位置处。检测器区段可以包括静电或磁棱镜以及针对第二能量校准的一个或多个带电粒子光学元件。第一能量和第二能量可以是不同的。

【技术实现步骤摘要】

本公开的实施方案涉及带电粒子显微镜系统以及用于其操作的算法和方法。特别地，一些实施方案涉及用于电子能量损失光谱的技术。

技术介绍

1、电子能量损失光谱(eels)描述其中关于材料样本的电子结构的信息可以通过使电子束穿过样本、散射电子的一部分而得到的技术。eels光谱仪通过收集样本下游相对于电子源位置的非弹性散射电子并且通过非弹性散射中损失的能量在空间上分散这些电子来操作。空间分散的电子撞击在生成eels光谱的检测器上。eels面临的挑战在于，散射横截面随着能量损失的增加而迅速减小，导致对于高于约2kev的激发的信噪比限制。

2、与提供类似光谱数据的其他技术(诸如同步加速器)相比，被配置成作为带电粒子显微镜系统的一部分操作的eels光谱仪针对电子束的单一能量(即带电粒子显微镜的初级光束的能量)进行校准。因此，eels光谱仪被限制在对应于初级光束能量的“零损失峰”或zlp附近的相对窄的能量范围内。包括大于初级光束能量的约2％(例如，对于200kev初级光束大于约4kev)的能量转移的非弹性碰撞，诸如内壳电离以及电子束与样本之间的其他相对高能量的相互本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种带电粒子显微镜系统，包括：

2.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中：

3.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中所述样本区段包括物镜，并且其中所述样本浸入所述物镜的物镜场中。

4.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中所述检测器区段包括EELS光谱仪，所述EELS光谱仪被校准以至少部分地基于与样本中的内壳电子的能量转移来检测能量为约所述第二能量的带电粒子。

5.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中所述第一能量与所述第二能量之间的差为约2keV至约50keV。

6.根据权利要求5所述的带电粒子...

【技术特征摘要】

1.一种带电粒子显微镜系统，包括：

2.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中：

3.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中所述样本区段包括物镜，并且其中所述样本浸入所述物镜的物镜场中。

4.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中所述检测器区段包括eels光谱仪，所述eels光谱仪被校准以至少部分地基于与样本中的内壳电子的能量转移来检测能量为约所述第二能量的带电粒子。

5.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中所述第一能量与所述第二能量之间的差为约2kev至约50kev。

6.根据权利要求5所述的带电粒子显微镜系统，其中所述第二能量是所述第一能量的约90％至约97.5％。

7.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中：

8.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其中所述第一能量是约300kev并且所述第二能量是约270kev至约295kev。

9.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，还包括：

10.根据权利要求1所述的带电粒子显微镜系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·C·蒂梅杰，S·拉扎，B·H·弗雷塔，P·隆戈，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：