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用于高能量损失下的电子能量损失光谱的技术制造技术
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下载用于高能量损失下的电子能量损失光谱的技术的技术资料
文档序号:43042263
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描述了用于相对大的能量损失下的能量损失光谱的系统、设备、方法和技术。带电粒子显微镜系统可以包括光束镜筒区段。该光束镜筒区段可以包括针对第一能量校准的一个或多个带电粒子光学元件以及针对第二能量校准的一个或多个带电粒子光学元件。带电粒子显微镜系...
该专利属于FEI公司所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司授权不得商用。
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