阀和流体控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及阀和流体控制装置。阀(11)具备壳体、孔(400)、孔(700)、阀膜(80)、台座(43)以及突起部(90)。壳体具有相互对置的壳体用部件(70)及平板(41)、和与壳体用部件(70)、平板(41)连接且能够与壳体用部件(70)、平板(41)一起区隔出阀室(410)的侧壁(42)。孔(400)形成于平板(41)，将阀室(410)与阀(11)的外部连通。孔(700)形成于壳体用部件(70)，将阀室(410)与阀(11)的外部连通。阀膜(80)将阀室(410)分为平板(41)侧的第一空间和壳体用部件(70)侧的第二空间，并且具有能够将第一空间与第二空间连通的贯通孔(800)。台座(43)从平板(41)向阀室(410)内突出，并配置于在沿从壳体用部件(70)观察平板(41)的第一方向俯视观察阀(11)时与贯通孔(800)重叠的位置。在沿与第一方向正交的第二方向剖视阀(11)时，突起部(90)配置在孔(400)与台座(43)之间，并在第一空间中设置于阀膜(80)或平板(41)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及使用阀膜进行流体的整流的阀和具备该阀的流体控制装置。

技术介绍

1、在专利文献1、2中，记载了具备压电泵和止回阀(阀)的流体控制装置。阀的壳体具有对置的第一壁和第二壁。在第一壁上形成有第一孔。在第二壁上形成有第二孔及第三孔。第一孔与压电泵连通。第二孔与流体控制装置外部的套囊连通。第三孔为排出用，与阀的壳体的外部连通。

2、在壳体设置有隔膜(膜)。隔膜将壳体的内部空间分离为第一壁侧空间、第二壁侧空间。

3、该隔膜因流体的流动而变形，由此，在流体(例如气体)从通气孔向连通孔流动(第一流动)和流体从连通孔向排气孔流动(第二流动)之间进行切换。

4、更具体而言，在隔膜上形成有贯通孔。另外，在第一壁上形成有台座。在俯视观察阀时，隔膜的贯通孔和台座重叠。

5、在第一流动中，隔膜离开台座。由此，从第一孔流入的流体经过隔膜的贯通孔，被从第二孔排出。在第二流动中，隔膜与台座的表面抵接。由此，从第二孔流入的流体被从第三孔排出。

6、专利文献1：国际公开第2017/195475号>

7、专利文献本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种阀，其中，具备：

2.根据权利要求1所述的阀，其中，

3.根据权利要求2所述的阀，其中，

4.根据权利要求2所述的阀，其中，

5.根据权利要求4所述的阀，其中，

6.根据权利要求1或5所述的阀，其中，

7.根据权利要求5所述的阀，其中，

8.根据权利要求1所述的阀，其中，

9.根据权利要求1～8中任一项所述的阀，其中，

10.根据权利要求1～9中任一项所述的阀，其中，

11.根据权利要求1～10中任一项所述的阀，其中，

12.根据权利要求1～10中任...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种阀，其中，具备：

2.根据权利要求1所述的阀，其中，

3.根据权利要求2所述的阀，其中，

4.根据权利要求2所述的阀，其中，

5.根据权利要求4所述的阀，其中，

6.根据权利要求1或5所述的阀，其中，

7.根据权利要求5所述的阀，其中，

8.根据权利要求1所述的阀，其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：儿玉幸治，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：