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本发明涉及阀和流体控制装置。阀(11)具备壳体、孔(400)、孔(700)、阀膜(80)、台座(43)以及突起部(90)。壳体具有相互对置的壳体用部件(70)及平板(41)、和与壳体用部件(70)、平板(41)连接且能够与壳体用部件(70)...
该专利属于株式会社村田制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

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