基于软测量技术的新型层流质量流量控制系统及控制方法技术方案

本发明专利技术提供一种基于软测量技术的新型层流质量流量控制系统及控制方法，包括主控制器、通信模块、存储器、比较及选择模块、A/D转换器、D/A转换器、软测量模块、压差传感器、压力传感器、温度传感器、连接管道一、连接管道二、高压侧检测口、层流元件、低压侧检测口、后置调节阀。当压差传感器测量值不准确时，控制系统的流量精度也不准确。为了减小和避免该流量精度下降，在控制系统中增加了软测量模块，该模块可计算出压差传感器的理论计算值，通过在采用压差传感器实际检测值和理论计算值之间切换，避免了压差传感器性能下降所引起的控制系统的流量精度的下降问题。本发明专利技术具有高可靠性、高稳定性、控制精度高、抗干扰能力强的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及流量测量及控制，具体涉及一种基于软测量技术的新型层流质量流量控制系统及控制方法。

技术介绍

1、层流质量流量控制器或控制系统是很多工业控制领域的重要部件，对很多工业产品的质量具有重要影响。如层流质量流量控制器或控制系统是芯片制造领域的蚀刻机的重要部件。然而，在层流质量流量控制器或控制系统的实际运行中，作为其重要组成部分的压差传感器的性能对层流质量流量控制系统的性能具有重要影响，当压差传感器的测量值由于某种原因(如压差传感器老化、受到干扰或性能不稳定)而不准确时，则层流质量流量控制系统的精度也不准确。在一些对气体的流量控制精度要求较高的场合，如芯片制造领域的蚀刻机就对气体流量的控制精度要求较高，如果流量控制精度不准确将对芯片制造的质量造成严重影响，从而导致层流质量流量控制器或控制系统达不到使用要求。因此，需要减小和避免由于压差传感器的不准确所引起的控制系统的流量精度下降的问题，以提高层流质量流量控制器或控制系统的精度、可靠性、稳定性。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中存在的问题，本专利技术提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于软测量技术的新型层流质量流量控制系统，包括主控制器(1)、通信模块(2)、存储器(3)、比较及选择模块(4)、A/D转换器(5)、D/A转换器(6)、软测量模块(7)、压差传感器(8)、压力传感器(9)、温度传感器(10)、连接管道一(11)、连接管道二(12)、高压侧检测口(13)、层流元件(14)、低压侧检测口(15)、后置调节阀(16)，其特征在于，层流元件(14)设有低压侧检测口(15)及高压侧检测口(13)；低压侧检测口(15)连接压力传感器(9)及压差传感器(8)，高压侧检测口(13)连接压差传感器(8)；层流元件(14)两端与连接管道二(12)、后置调节阀(16...

【技术特征摘要】

1.一种基于软测量技术的新型层流质量流量控制系统，包括主控制器(1)、通信模块(2)、存储器(3)、比较及选择模块(4)、a/d转换器(5)、d/a转换器(6)、软测量模块(7)、压差传感器(8)、压力传感器(9)、温度传感器(10)、连接管道一(11)、连接管道二(12)、高压侧检测口(13)、层流元件(14)、低压侧检测口(15)、后置调节阀(16)，其特征在于，层流元件(14)设有低压侧检测口(15)及高压侧检测口(13)；低压侧检测口(15)连接压力传感器(9)及压差传感器(8)，高压侧检测口(13)连接压差传感器(8)；层流元件(14)两端与连接管道二(12)、后置调节阀(16)相连；连接管道一(11)上设有温度传感器(10)；主控制器(1)与通信模块(2)、存储器(3)、比较及选择模块(4)、a/d转换器(5)、d/a转换器(6)、软测量模块(7)、温度传感器(10)连通；比较及选择模块(4)与主控制器(1)、软测量模块(7)、压差传感器(8)联通；a/d转换器(5)与压差传感器(8)、压力传感器(9)、主控制器(1)联通；d/a转换器(6)与后置调节阀(16)、主控制器(1)联通。

2.根据权利要求1所述的一种基于软测量技术的新型层流质量流量控制系统，其特征在于，软测量模块(7)包括软测量模块计算芯片(17)、软测量模块电源(18)、软测量模块存储器(19)。

3.根据权利要求1所述的一种基于软测量技术的新型层流质量流量控制系统，其特征在于，流量检测模块包括温度传感器(10)、压力传感器(9)、压差传感器(8)、软测量模块(7)、比较及选择模块(4)，比较及选择模块(4)与软测量模块(7)、压差传感器(8)及主控制器(1)连接；软测量模块(7)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军，王小龙，郭佳芊，孙瑞泽，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：