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本发明提供一种基于软测量技术的新型层流质量流量控制系统及控制方法，包括主控制器、通信模块、存储器、比较及选择模块、A/D转换器、D/A转换器、软测量模块、压差传感器、压力传感器、温度传感器、连接管道一、连接管道二、高压侧检测口、层流元件、低...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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