【技术实现步骤摘要】
本申请是有关于一种线性电浆制程机构，特别是指一种具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构。
技术介绍
1、纵观目前电浆制程技术，可包括清洁、物体表面处理、蚀刻以及镀膜等，而被广泛应用于金属、玻璃、半导体以及显示器等产业中，如何有效的利用电浆制程技术并达到提升制程良率、稳定产品品质、提升量产效率的目的，即为相关业者所共同努力的目标。
2、其中，连续式（inline）制程设备为常用的电浆制程设备之一，其利用不同腔体的串连，而依序的在各腔体内进行相关制程处理，而电浆制程容易在制程过程中产生高温，若待制程物体本身无法承受高温，便会发生待制程物体的变形、制程结果不理想等问题。一般解决方式为降低电浆制程的速度以及功率，来减少高温状况的发生；或者，通过在电浆制程腔体之间增设缓冲腔体的方式，使待制程物体可于缓冲腔体中进行缓冲降温。
3、然而，连续式电浆制程设备通常需要在一定的真空环境条件，而且真空环境又难以快速的进行降温，使得电浆制程效率无法有效的提升。
技术实现思路
1、为解决上述课题，本申请提供一种具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构改善过去连续式镀膜设备的冷却缓冲效率低，而影响整体量产速度的问题。
2、本申请提供一种具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，线性电浆制程机构包括一输送单元、一镀膜腔体及一缓冲腔体。输送单元沿一水平的传输方向移动一待镀物，将待镀物沿传输方向输入至镀膜腔体内以进行镀膜处理。至少一缓冲腔体与镀膜腔体连接设置，输送单元将待镀物沿传输方向输入缓冲腔体内进
3、于本申请一较佳实施例中，所述缓冲腔体还具有一设于上冷却区顶部的冷却单元，而于待镀物位移至上冷却区时，对待镀物的上表面进行冷却。
4、于本申请一较佳实施例中，所述冷却单元具有一冷却板，以面接触的方式接触待镀物的上表面进行冷却。
5、于本申请一较佳实施例中，所述第一升降单元具有多个第一承载臂，以承接待镀物进行垂直位移。
6、于本申请一较佳实施例中，所述输送单元具有沿传输方向两侧分别设置的多个第一侧传输滚轮以及多个第二侧传输滚轮，这些第一侧传输滚轮沿传输方向间隔设置，这些第二侧传输滚轮沿传输方向间隔设置，这些第一承载臂部分设于这些第一侧传输滚轮之间的空隙位置，部分设于这些第二侧传输滚轮之间的空隙位置。
7、于本申请一较佳实施例中，所述第一升降单元还具有一与这些第一承载臂连接的承载模组，承载模组用以承接待镀物，并接触于待镀物的下表面。
8、于本申请一较佳实施例中，所述承载模组具有一承接板以及一冷却管路，承接板接触待镀物的下表面，而冷却管路则位于承接板远离待镀物一侧。
9、于本申请一较佳实施例中，所述输送单元沿传输方向的两侧还具有多个第一侧辅助输送轮及多个第二侧辅助输送轮，这些第一侧辅助输送轮及这些第二侧辅助输送轮接触待镀物，供维持待镀物的传输方向。
10、于本申请一较佳实施例中，所述缓冲腔体还具有一下冷却区，下冷却区连通转送区并位于转送区的下方，与上冷却区相对设置，第一升降单元可于上冷却区、转送区及下冷却区垂直升降移动。
11、于本申请一较佳实施例中，所述输送单元具有沿传输方向两侧分别设置的多个第一侧传输滚轮、一与这些第一侧传输滚轮连接的第一退让模组、多个第二侧传输滚轮以及一与这些第二侧传输滚轮连接的第二退让模组，这些第一侧传输滚轮沿传输方向间隔设置，这些第二侧传输滚轮沿传输方向间隔设置，第一退让模组与第二退让模组供这些第一侧传输滚轮与这些第二侧传输滚轮挪开空间，而使待镀物可通过第一升降单元穿梭于上冷却区、转送区及下冷却区之间。
12、于本申请一较佳实施例中，所述缓冲腔体还具有一第二升降单元，第二升降单元是设于下冷却区，并可移动于转送区及下冷却区；第一升降单元则设于上冷却区，并可移动于转送区及上冷却区。
13、于本申请一较佳实施例中，所述第二升降单元还具有多个第二承载臂及一与这些第二承载臂连接的承载模组，承载模组用以承接待镀物，并接触于待镀物的下表面。
14、于本申请一较佳实施例中，所述承载模组具有一承接板以及一冷却管路，承接板接触待镀物的下表面，而冷却管路则位于承接板远离待镀物一侧。
15、于本申请一较佳实施例中，所述第一升降单元具有多个垂直且间隔叠置的承载模组，这些承载模组之间分别形成一存放空间，以供放置待镀物，这些承载模组通过第一升降单元穿梭于上冷却区、转送区及下冷却区之间。
16、于本申请一较佳实施例中，所述多个承载模组分别具有一承接板以及一冷却管路，承接板用以接触待镀物的下表面，冷却管路则位于承接板远离待镀物一侧。
17、借此，本申请提供一缓冲腔体，通过缓冲腔体内的第一升降单元将在转送区的待镀物垂直升降移动至上冷却区，并让待镀物闲置于上冷却区，充分地给予待镀物冷却缓冲的时间。同时，无待镀物的转送区，输送单元可继续沿水平的传输方向，输入其他待镀物至转送区中，达到有效地对待镀物进行冷却缓冲的目的，以及增加生产线的作业效率。
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1.一种具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该缓冲腔体还具有一设于该上冷却区顶部的冷却单元，而于该待镀物位移至该上冷却区时，对该待镀物的上表面进行冷却。
3.根据权利要求2所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该冷却单元具有一冷却板，以面接触的方式接触该待镀物的上表面进行冷却。
4.根据权利要求1所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该第一升降单元具有多个第一承载臂，以承接该待镀物进行垂直位移。
5.根据权利要求4所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该输送单元具有沿该传输方向两侧分别设置的多个第一侧传输滚轮以及多个第二侧传输滚轮，这些第一侧传输滚轮沿该传输方向间隔设置，这些第二侧传输滚轮沿该传输方向间隔设置，这些第一承载臂部分设于这些第一侧传输滚轮之间的空隙位置，部分设于这些第二侧传输滚轮之间的空隙位置。
6.根据权利要求5所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该第一升降单元还
7.根据权利要求6所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该承载模组具有一承接板以及一冷却管路，该承接板接触该待镀物的下表面，而该冷却管路则位于该承接板远离该待镀物一侧。
8.根据权利要求1所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该输送单元沿该传输方向的两侧还具有多个第一侧辅助输送轮及多个第二侧辅助输送轮，这些第一侧辅助输送轮及这些第二侧辅助输送轮接触该待镀物，供维持该待镀物的该传输方向。
9.根据权利要求1所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该缓冲腔体还具有一下冷却区，该下冷却区连通该转送区并位于该转送区的下方，与该上冷却区相对设置，该第一升降单元可于该上冷却区、该转送区及该下冷却区垂直升降移动。
10.根据权利要求9所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该输送单元具有沿该传输方向两侧分别设置的多个第一侧传输滚轮、一与这些第一侧传输滚轮连接的第一退让模组、多个第二侧传输滚轮以及一与这些第二侧传输滚轮连接的第二退让模组，这些第一侧传输滚轮沿该传输方向间隔设置，这些第二侧传输滚轮沿该传输方向间隔设置，该第一退让模组与该第二退让模组供这些第一侧传输滚轮与这些第二侧传输滚轮挪开空间，而使该待镀物可通过该第一升降单元穿梭于该上冷却区、该转送区及该下冷却区之间。
11.根据权利要求10所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该缓冲腔体还具有一第二升降单元，该第二升降单元是设于该下冷却区，并可移动于该转送区及该下冷却区；该第一升降单元则设于该上冷却区，并可移动于该转送区及该上冷却区。
12.根据权利要求11所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该第二升降单元还具有多个第二承载臂及一与这些第二承载臂连接的承载模组，该承载模组用以承接该待镀物，并接触于该待镀物的下表面。
13.根据权利要求12所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该承载模组具有一承接板以及一冷却管路，该承接板接触该待镀物的下表面，而该冷却管路则位于该承接板远离该待镀物一侧。
14.根据权利要求10所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该第一升降单元具有多个垂直且间隔叠置的承载模组，这些承载模组之间分别形成一存放空间，以供放置该待镀物，这些承载模组通过该第一升降单元穿梭于该上冷却区、该转送区及该下冷却区之间。
15.根据权利要求14所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，这些承载模组分别具有一承接板以及一冷却管路，该承接板用以接触该待镀物的下表面，该冷却管路则位于该承接板远离该待镀物一侧。
...【技术特征摘要】
1.一种具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该缓冲腔体还具有一设于该上冷却区顶部的冷却单元，而于该待镀物位移至该上冷却区时，对该待镀物的上表面进行冷却。
3.根据权利要求2所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该冷却单元具有一冷却板，以面接触的方式接触该待镀物的上表面进行冷却。
4.根据权利要求1所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该第一升降单元具有多个第一承载臂，以承接该待镀物进行垂直位移。
5.根据权利要求4所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该输送单元具有沿该传输方向两侧分别设置的多个第一侧传输滚轮以及多个第二侧传输滚轮，这些第一侧传输滚轮沿该传输方向间隔设置，这些第二侧传输滚轮沿该传输方向间隔设置，这些第一承载臂部分设于这些第一侧传输滚轮之间的空隙位置，部分设于这些第二侧传输滚轮之间的空隙位置。
6.根据权利要求5所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该第一升降单元还具有一与这些第一承载臂连接的承载模组，该承载模组用以承接该待镀物，并接触于该待镀物的下表面。
7.根据权利要求6所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该承载模组具有一承接板以及一冷却管路，该承接板接触该待镀物的下表面，而该冷却管路则位于该承接板远离该待镀物一侧。
8.根据权利要求1所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该输送单元沿该传输方向的两侧还具有多个第一侧辅助输送轮及多个第二侧辅助输送轮，这些第一侧辅助输送轮及这些第二侧辅助输送轮接触该待镀物，供维持该待镀物的该传输方向。
9.根据权利要求1所述的具有冷却缓冲腔的线性电浆制程机构，其特征在于，该缓冲腔体还具有一下冷却区，该下冷却区连通该转送区并位于该转送区的下方，与该上冷却区...
【专利技术属性】
技术研发人员：李原吉，刘品均，杨峻杰，林忠炫，赖青华，林岱蔚，纪宏鹏，卢志铭，杨正暐，
申请(专利权)人：友威科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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