【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机械手领域，具体地说是一种紧凑型机械手结构及控制方法。
技术介绍
1、在半导体器件的制造过程中，许多工序操作都需要在真空腔室中进行，半导体晶片主要通过真空机械手在不同真空腔室中传递，并送至相应工位，但现有技术中的真空机械手结构相对复杂，所占体积较大，不能满足半导体行业生产中对于机械手的安装体积要求。比如公开号为cn111360805a的中国专利技术专利中公开了一种升降式独立直驱真空机械手，其包括四个手臂和四个直驱电机，并且每个手臂分别通过对应的直驱电机驱动独立动作，另外该装置还设有两个升降机构分别驱动对应的两个手臂升降动作，该结构虽然提高了各个手臂的使用灵活性，但机构也相对复杂，导致机械手整体结构不够紧凑。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种紧凑型机械手结构及控制方法，其通过减少驱动机构数量以及将控制组件、风扇组件等装置统一集成于壳体内使整个机械手结构更加紧凑，能够满足半导体行业对于机械手的安装体积要求。
2、本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的
3、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种紧凑型机械手结构，其特征在于：包括壳体(1)、上手臂(2)、下手臂(3)和多个驱动轴，其中上手臂(2)和下手臂(3)均设于壳体(1)上端，各个驱动轴均可升降地设于所述壳体(1)中，所述上手臂(2)后部设有第一上臂体(202)，所述下手臂(3)后部设有第一下臂体(302)，并且所述第一上臂体(202)后端和第一下臂体(302)后端叠放固连，所述第一上臂体(202)后端内部设有上手臂驱动带轮(201)，所述第一下臂体(302)后端内部设有下手臂驱动带轮(301)，并且所述壳体(1)内部的第一驱动轴(402)上端与第一下臂体(302)连接，第二驱动轴(502)上端穿...
【技术特征摘要】
1.一种紧凑型机械手结构，其特征在于：包括壳体(1)、上手臂(2)、下手臂(3)和多个驱动轴，其中上手臂(2)和下手臂(3)均设于壳体(1)上端，各个驱动轴均可升降地设于所述壳体(1)中，所述上手臂(2)后部设有第一上臂体(202)，所述下手臂(3)后部设有第一下臂体(302)，并且所述第一上臂体(202)后端和第一下臂体(302)后端叠放固连，所述第一上臂体(202)后端内部设有上手臂驱动带轮(201)，所述第一下臂体(302)后端内部设有下手臂驱动带轮(301)，并且所述壳体(1)内部的第一驱动轴(402)上端与第一下臂体(302)连接，第二驱动轴(502)上端穿过第一驱动轴(402)后与下手臂驱动带轮(301)连接，第三驱动轴(602)上端穿过第二驱动轴(502)后与上手臂驱动带轮(201)连接。
2.根据权利要求1所述的紧凑型机械手结构，其特征在于：所述壳体(1)内部由上到下依次设有第一驱动轴组件(4)、第二驱动轴组件(5)和第三驱动轴组件(6)，其中第一驱动轴组件(4)的壳体内部设有第一直驱电机(401)，并且第一驱动轴(402)下端与所述第一直驱电机(401)连接，第二驱动轴组件(5)内部设有第二直驱电机(501)，并且所述第二驱动轴(502)下端与所述第二直驱电机(501)连接，第三驱动轴组件(6)内部设有第三直驱电机(601)，并且所述第三驱动轴(602)下端与所述第三直驱电机(601)连接。
3.根据权利要求2所述的紧凑型机械手结构，其特征在于：所述壳体(1)内设有升降驱动组件，所述升降驱动组件包括升降直驱电机(7)，并且所述升降直驱电机(7)上设有丝杠(701)，所述丝杠(701)上套装有丝母(702)，所述第三驱动轴(602)下端形成连接腔体(6021)，并且所述丝母(702)通过丝母连接架(703)与所述连接腔体(6021)内壁固连，同时所述丝杠(701)上部插入所述连接腔体(6021)中。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟星，边弘晔，杨奇峰，程龙，肖健，张天笑，
申请(专利权)人：沈阳新松半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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