【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于α氧化铝粉生产,具体涉及一种纳米片状α氧化铝粉的制备方法。
技术介绍
1、蓝宝石是一种单晶α氧化铝,具有耐高温、耐磨损、抗腐蚀、透光波段宽的优点,可作为gan发光二极管(led)的衬底材料;在蓝宝石衬底上生长薄膜前,需要对蓝宝石进行化学机械抛光,以去除划伤、凹坑、应力区,降低表面粗糙度,减少杂质附着。
2、通常采用硅溶胶对蓝宝石衬底进行抛光,但是存在粗抛阶段抛光效率低的缺点,原因是硅溶胶中的氧化硅粒子磨料硬度不够高。而α氧化铝莫氏硬度达到9,硬度仅次于金刚石,因此近年来,采用纳米α氧化铝抛光液进行蓝宝石的抛光,有效地提高了抛光速率。但是α氧化铝由于是高温煅烧,通常含有粗大的原晶和团聚的颗粒,容易在抛光过程中产生划伤,导致抛光失败,限制了α氧化铝抛光液的广泛使用。因此,控制超大颗粒,减少划伤,是一个在α氧化铝量产中长期待解决的一个问题。尤其是在蓝宝石精抛过程中,需要原晶粒度100nm左右、团聚少的纳米α氧化铝。
3、生产α氧化铝的方法常常有拜耳法、溶胶凝胶法、热解法、醇铝水解法的特点。其中拜耳法无法达
...【技术保护点】
1.一种纳米片状α氧化铝粉的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.如权利要求1所述的纳米片状α氧化铝粉的制备方法,其特征在于,所述步骤a)中的醇铝盐为异丙醇铝、仲丁醇铝、乙醇铝、正丁醇铝的任一种或多种,所述水解液为水和异丙醇、乙醇或仲丁醇的混合液。
3.如权利要求2所述的纳米片状α氧化铝粉的制备方法,其特征在于,所述水解液中水和异丙醇、乙醇或仲丁醇的重量比为1:1-2,所述拟薄水铝石悬浮液中水的重量占比为10-35%。
4.如权利要求1所述的纳米片状α氧化铝粉的制备方法,其特征在于,所述步骤a)中的α氧化铝晶种的粒度为80-12
...【技术特征摘要】
1.一种纳米片状α氧化铝粉的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
2.如权利要求1所述的纳米片状α氧化铝粉的制备方法,其特征在于,所述步骤a)中的醇铝盐为异丙醇铝、仲丁醇铝、乙醇铝、正丁醇铝的任一种或多种,所述水解液为水和异丙醇、乙醇或仲丁醇的混合液。
3.如权利要求2所述的纳米片状α氧化铝粉的制备方法,其特征在于,所述水解液中水和异丙醇、乙醇或仲丁醇的重量比为1:...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘涛,汪为磊,容和平,贺义松,朱向伟,
申请(专利权)人:浙江新创纳电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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