一种精细金属掩膜版抓取装置以及抓取方法制造方法及图纸

技术编号:42953951 阅读:24 留言:0更新日期:2024-10-11 16:10
本发明专利技术涉及抓取装置技术领域,且公开了一种精细金属掩膜版抓取装置以及抓取方法。包括多轴机械臂,还包括抓取架,安装于多轴机械臂的前端并通过多轴机械臂多轴驱动,调距件a、吸料软管、真空管和第一视觉采集探头,均安装于抓取架上,两个对称设置的升降主架,两个升降主架与抓取架之间均安装有一组升降推杆,两个径向设置的抓取部件,抓取部件包括两个驱动块、两个升降副架和夹框。本装置在对精细金属掩膜版的去除部分吸取后,能够将吸取的去除部分在线去除,且本吸取装置在对精细金属掩膜版抓取时能够快速将精细金属掩膜版和隔膜纸同步抓取并同步转移,继而有效简化精细金属掩膜版抓取和转移流程并提高精细金属掩膜版的抓取和转移效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及抓取装置,具体为一种精细金属掩膜版抓取装置以及抓取方法


技术介绍

1、精细金属掩膜版(fmm)是用于oled生产的核心耗材,其厚度仅有20um左右,但长度和宽度分别可达到1400mm和400mm,因此对精细金属掩膜版的转运是目前行业的痛点。如图1所示的精细金属掩膜版,在搬运前各精细金属掩膜版是堆叠在一起的,相邻精细金属掩膜版之间放置有隔膜纸,精细金属掩膜版的两端由激光加工设备雕刻形成类似u形结构的可去除部分。在搬运精细金属掩膜版时,需要移除u形结构部分,再转移至下一工位的放置区,转移隔膜纸放置到精细金属掩膜版上,如此转移堆叠。

2、现有技术中,公开号为cn117088130b的专利文件公开了精细金属掩膜版抓取装置及其抓取方法,安装于抓取机器人的末端处,包括与抓取机器人末端连接的连接板,所述连接板的背面关于其纵向中线镜像设置有伸缩机构,所述伸缩机构的输出端连接有对产品或隔膜进行抓取的抓取机构,所述抓取机构连接有拉掉产品端头需去除部分或抓取隔膜纸的废料分离机构,上述装置中伸缩机构可以根据产品的长度进行自动调节,可调长度在500~14本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种精细金属掩膜版抓取装置,包括多轴机械臂,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种精细金属掩膜版抓取装置,其特征在于:所述多轴机械臂包括底座(18),所述底座(18)上安装有旋转器(32),所述旋转器(32)的旋转面安装有转台(33),所述转台(33)的顶面铰接有第一抓臂(34),所述第一抓臂(34)的前端铰接有第二抓臂(35),所述第二抓臂(35)的前端铰接有第三抓臂(36),所述第三抓臂(36)上转动连接有通过旋转电机驱动的旋臂(37),所述旋臂(37)与抓取架(1)固定连接,所述第一抓臂(34)与转台(33)的相对表面之间、第二抓臂(35)与第一抓臂(34)的相...

【技术特征摘要】

1.一种精细金属掩膜版抓取装置,包括多轴机械臂,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种精细金属掩膜版抓取装置,其特征在于:所述多轴机械臂包括底座(18),所述底座(18)上安装有旋转器(32),所述旋转器(32)的旋转面安装有转台(33),所述转台(33)的顶面铰接有第一抓臂(34),所述第一抓臂(34)的前端铰接有第二抓臂(35),所述第二抓臂(35)的前端铰接有第三抓臂(36),所述第三抓臂(36)上转动连接有通过旋转电机驱动的旋臂(37),所述旋臂(37)与抓取架(1)固定连接,所述第一抓臂(34)与转台(33)的相对表面之间、第二抓臂(35)与第一抓臂(34)的相对表面之间、第三抓臂(36)与第二抓臂(35)的相对表面之间均铰接有一组调臂推杆(38),所述转台(33)上固定安装有与第一视觉采集探头(5)数据连接的中控主机(19)。

3.根据权利要求2所述的一种精细金属掩膜版抓取装置,其特征在于:所述抓取架(1)上分别安装有负压吸料泵(20)和真空泵(21),所述负压吸料泵(20)与吸料软管(3)连通,所述真空泵(21)的真空发生端口与真空管(4)连通。

4.根据权利要求3所述的一种精细金属掩膜版抓取装置,其特征在于:所述调距件a(2)包括两个对称设置且转动连接于抓取架(1)上的夹持丝杆和固定于抓取架(1)上的夹持电机,两个所述夹持丝杆通过第一链带联动,所述夹持电机的输出轴端与一所述夹持丝杆固定连接,所述夹持丝杆上对称设置有正螺纹段a和反螺纹段a,所述正螺纹段a和反螺纹段a分别与两个抓取部件中的驱动块(8)传动连接。

5.根据权利要求4所述的一种精细金属掩膜版抓取装置,其特征在于:所述调距件b(13)包括转动连接于抓取架(1)上的调节丝杆和固定于抓取架(1)上的调节电机,所述调节电机的输出轴端与调节丝杆固定连接,所述调节丝杆上对称设置有正螺纹段b和反螺纹段b,所述正螺纹段a和反螺纹段a分别与两个抓钳(15)传动连接,所述调节丝杆的轴线与夹持丝杆的轴线垂直。

6.根据权利要求5所述的一种精细...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐华伟沈洵蔡俊飞叶大成
申请(专利权)人:浙江众凌科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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