下载一种精细金属掩膜版抓取装置以及抓取方法的技术资料

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本发明涉及抓取装置技术领域,且公开了一种精细金属掩膜版抓取装置以及抓取方法。包括多轴机械臂,还包括抓取架,安装于多轴机械臂的前端并通过多轴机械臂多轴驱动,调距件a、吸料软管、真空管和第一视觉采集探头,均安装于抓取架上,两个对称设置的升降主架...
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