一种碳化硅制品抛光装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种碳化硅制品抛光装置，包括放置盘，所述放置盘上放置有碳化硅本体，所述放置盘的两侧固定连接有固定支架，所述固定支架顶部的背面固定连接有第一电动滑轨滑座，所述第一电动滑轨滑座的正面设置有气缸，所述气缸的底端固定连接有第二电动滑轨滑座，所述第二电动滑轨滑座的两侧设置有延伸架，所述延伸架相互靠近的底端固定连接有安装箱，所述放置盘上设置有与碳化硅本体配合使用的调整组件，利用多样且多方位的定位方式，且可根据碳化硅本体的尺寸对整个吸附定位结构的位置进行自适应调整，提高了对碳化硅本体的定位效果，可有效避免碳化硅本体在抛光的过程中位置偏移，提高了装置加工时的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及碳化硅制品，具体为一种碳化硅制品抛光装置。

技术介绍

1、碳化硅制品是一种由碳化硅材料制成的产品，碳化硅是一种硬度极高、耐高温、耐腐蚀的材料，因此碳化硅制品具有很高的耐用性和稳定性，在对碳化硅制品进行加工时，需要用到碳化硅制品抛光装置对碳化硅制品的表面进行抛光处理。

2、在对圆形碳化硅晶体进行抛光时，大多是直接将圆形碳化硅晶体放置在单一吸盘上，利用吸盘的吸力对圆形碳化硅晶体进行固定，但是这种定位方式十分单一，且无法根据圆形碳化硅晶体的尺寸对吸盘的位置进行自适应调整，导致对圆形碳化硅晶体的定位效果差，易在抛光的过程中出现位置偏移，从而会直接影响抛光工作的正常进行，进而会直接影响装置的工作效率，为此，提出一种碳化硅制品抛光装置。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种碳化硅制品抛光装置，以解决上述
技术介绍
中提出的定位方式十分单一，且无法根据圆形碳化硅晶体的尺寸对吸盘的位置进行自适应调整，导致对圆形碳化硅晶体的定位效果差，易在抛光的过程中出现位置偏移的问题。p>

2、为实现本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅制品抛光装置，包括放置盘(1)，其特征在于：所述放置盘(1)上放置有碳化硅本体(2)，所述放置盘(1)的两侧固定连接有固定支架(3)，所述固定支架(3)顶部的背面固定连接有第一电动滑轨滑座(4)，所述第一电动滑轨滑座(4)的正面设置有气缸(5)，所述气缸(5)的底端固定连接有第二电动滑轨滑座(6)，所述第二电动滑轨滑座(6)的两侧设置有延伸架(7)，所述延伸架(7)相互靠近的底端固定连接有安装箱(8)，所述安装箱(8)内固定连接有电机(9)，所述电机(9)的输出轴贯穿安装箱(8)并固定连接有与碳化硅本体(2)配合使用的抛光盘(10)，所述放置盘(1)的底部固定连接有固定框(...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅制品抛光装置，包括放置盘(1)，其特征在于：所述放置盘(1)上放置有碳化硅本体(2)，所述放置盘(1)的两侧固定连接有固定支架(3)，所述固定支架(3)顶部的背面固定连接有第一电动滑轨滑座(4)，所述第一电动滑轨滑座(4)的正面设置有气缸(5)，所述气缸(5)的底端固定连接有第二电动滑轨滑座(6)，所述第二电动滑轨滑座(6)的两侧设置有延伸架(7)，所述延伸架(7)相互靠近的底端固定连接有安装箱(8)，所述安装箱(8)内固定连接有电机(9)，所述电机(9)的输出轴贯穿安装箱(8)并固定连接有与碳化硅本体(2)配合使用的抛光盘(10)，所述放置盘(1)的底部固定连接有固定框(11)，所述放置盘(1)上设置有与碳化硅本体(2)配合使用的调整组件，所述放置盘(1)的两侧均固定连接有固定架(12)，每组所述固定架(12)上固定连接有阻挡板，且每组阻挡板的一侧沿前后方向对称横向插设有横杆(13)，前后两组所述横杆(13)的一端固定连接有通过软垫贴合在碳化硅本体(2)上的弧形定位座(15)，每组所述横杆(13)上缠绕有辅助弹簧(14)且辅助弹簧(14)的两端固定连接在阻挡板和弧形定位座(15)相互靠近的一侧，所述固定架(12)和安装箱(8)上设置有与调整组件配合使用的辅助组件。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅制品抛光装置，其特征在于：所述调整组件包括均匀开设在放置盘(1)上的四组固定槽(26)，每组所述固定槽(26)内滑动设置有开设有圆形腔室的方柱(28)，所述放置盘(1)上嵌设有固定筒(27)且固定筒(27)的底端嵌设在固定框(11)上，所述方柱(28)和固定筒(27)上均嵌设有密封环(45)且密封环(45)的顶部贴合在碳化硅本体(2)上，所述固定筒(27)的底部连通有固定管(30)，所述方柱(28)的底部连通有对接管(29)，所述对接管(29)远离方柱(28)的一端连通有伸缩管(50)，所述伸缩管(50)远离对接管(29)的一端连通有密封盒(49)且固定管(30)的底端连通在密封盒(49)上，所述固定框(11)底部的正面固定连接有气泵(46)，所述气泵(46)的进气端连通有进气管(47)，所述进气管(47)的底部连通有u型管(48)且u型管(48)的一端连通在密封盒(49)的底部，所述气泵(46)的出气端连通有出气管(51)，所述进气管(47)上设置有第一电磁阀(57)，所述u型管(48)靠近进气管(47)的一端设置有第二电磁阀(58)，所述出气管(51)上设置有第三电磁阀(59)，所述对接管(29)上设置有第四电磁阀(60)，所述对接管(29)靠近方柱(28)的一端和固定筒(27)的一侧均连通有排气管(63)，所述排气管(63)上设置有辅助电磁阀(64)且辅助电磁阀(64)位于第四电磁阀(60)的上方。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅制品抛光装置，其特征在于：所述调整组件还包括嵌设在固定框(11)背面的密封筒(52)，所述密封筒(52)内滑动设置有活塞杆(53)，所述出气管(51)的底部沿左右方向依次连通有第一管道(54)和第二管道(55)且第三电磁阀(59)位于第二管道(55)的右侧，所述第一管道(54)和第二管道(55)远离出气管(51)的一端贯穿固定框(11)并分别连通在密封筒(52)底部的正面和背面，所述第一管道(54)和第二管道(55)靠近出气管(51)的一端设置有第五电磁阀(61)，所述第一管道(54)和第二管道(55)靠近密封筒(52)的一端连通有延伸管(56)，所述延伸管(56)上设置有第六电磁阀(62)，所述固定框(11)内腔的一侧纵向插设有移动架(35)，所述固定筒(27)表面的底部转动装设有固定环(31)，所述固定环(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘学五，秦建增，郭全华，
申请(专利权)人：潍坊明亮精细陶瓷有限公司，
类型：发明
国别省市：