【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体设备微环境控制，更具体地，涉及一种多功能微环控系统。
技术介绍
1、卧式面形干涉仪是光学零件面形检测的关键设备，其测量精度直接受到其测量光路所处环境的温度变化、湿度变化和气压变化的影响，现有解决办法采用高等级恒温间方式提供卧式面形干涉仪的运行环境。如中国专利文献cn107450637a公开了一种温湿度精密控制高洁净等级净化间，具有由墙板、顶板和双开门构成的净化间，净化间内设置有温度调节装置和湿度调节装置，温度调节装置和湿度调节装置共同连接有主控装置，主控装置通过无线网连接温度传感器和湿度传感器，温度传感器和湿度传感器设置在净化间内，通过控制温度调节装置和湿度调节装置来控制净化间内的环境。又如中国专利文献cn110068122a公开了一种气浴装置，包括气浴模组，气浴模组的上表面与基板连接，其中，气浴模组包括多个气浴单元，多个气浴单元首尾相连通，构成中心位置具有第一通孔的气浴模组；托板位于气浴模组的下表面，将气浴模组与基板进行固定连接，达到了减少管道多杂带来的空间占用与安装问题，多个气浴单元组合后相互联通，形成大面积的静压腔...
【技术保护点】
1.一种多功能微环控系统，其特征在于，该系统包括洁净间(1)、恒温恒湿气体控制柜(2)和可升降的局部气浴模块(4)，其中：所述恒温恒湿气体控制柜(2)与洁净间(1)连接，其用于向洁净间(1)内输送气浴气体对待测卧式面形干涉仪进行全局气浴；所述局部气浴模块(4)设置于洁净间(1)内的待测卧式面形干涉仪上方，并能向下运动罩设在所述待测卧式面形干涉仪上，所述局部气浴模块(4)还与恒温恒湿气体控制柜(2)连接，所述恒温恒湿气体控制柜(2)用于向局部气浴模块(4)中输送气浴气体，所述局部气浴模块(4)用于直接朝待测卧式面形干涉仪输送气浴气体。
2.如权利要求1所述的...
【技术特征摘要】
1.一种多功能微环控系统，其特征在于，该系统包括洁净间(1)、恒温恒湿气体控制柜(2)和可升降的局部气浴模块(4)，其中：所述恒温恒湿气体控制柜(2)与洁净间(1)连接，其用于向洁净间(1)内输送气浴气体对待测卧式面形干涉仪进行全局气浴；所述局部气浴模块(4)设置于洁净间(1)内的待测卧式面形干涉仪上方，并能向下运动罩设在所述待测卧式面形干涉仪上，所述局部气浴模块(4)还与恒温恒湿气体控制柜(2)连接，所述恒温恒湿气体控制柜(2)用于向局部气浴模块(4)中输送气浴气体，所述局部气浴模块(4)用于直接朝待测卧式面形干涉仪输送气浴气体。
2.如权利要求1所述的一种多功能微环控系统，其特征在于，所述洁净间(1)中设置有气体过滤组件，所述气体过滤组件将洁净间(1)分隔成气体分配室(45)和气浴工作室(46)；所述恒温恒湿气体控制柜(2)通过第一连接风管(3)与气体分配室(45)连接，所述局部气浴模块(4)通过第二连接风管(5)与气体分配室(45)连接；所述恒温恒湿气体控制柜(2)用于向气体分配室(45)内输入气浴气体，所述气体过滤组件用于将气浴气体分配成两路，一路能直接进入气浴工作室(46)中，另一路则经由第二连接风管(5)从局部气浴模块(4)中输出到气浴工作室(46)内的特定高度位置处。
3.如权利要求2所述的一种多功能微环控系统，其特征在于，所述局部气浴模块(4)包括相互连接的升降组件和局部气浴腔(41)，所述升降组件固定于气浴工作室(46)靠近气体分配室(45)的一面上，且...
【专利技术属性】
技术研发人员：李小平，任振，
申请(专利权)人：武汉微环控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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