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本技术属于微环境控制设备技术领域，公开了一种多功能微环控系统，该系统包括洁净间、恒温恒湿气体控制柜和可升降的局部气浴模块，其中：恒温恒湿气体控制柜与洁净间连接，其用于向洁净间内输送气浴气体对待测卧式面形干涉仪进行全局气浴；局部气浴模块设置于...
该专利属于武汉微环控技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉微环控技术有限公司授权不得商用。

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