一种可移动装配式恒温净化间制造技术

本实用新型专利技术属于微环境装置技术领域，公开了一种可移动装配式恒温净化间，箱体内设置有全局气体过滤器，全局气体过滤器将箱体分隔为上层密封腔和下层工作腔，上层密封腔内设置有匀化腔和集风腔，其中，匀化腔底部铺设有气体过滤器，气体过滤器用于使进入匀化腔的外部气流混合均匀后进入上层密封腔；上层密封腔中的一部分混合气流经由全局气体过滤器均匀化后进入下层工作腔内；集风腔用于将上层密封腔中的剩余混合气流再次混合均匀，并定向输入到下层工作腔中的局部区域，为局部区域提供气浴微环境。环境。环境。

【技术实现步骤摘要】
一种可移动装配式恒温净化间


[0001]本技术属于微环境装置
，更具体地，涉及一种可移动装配式恒温净化间。

技术介绍

[0002]微环境净化装置多用于为半导体制造设备、精密测量设备提供恒温、恒湿及洁净的环境。
[0003]如专利CN107450637A公开了一种温湿度精密控制高洁净等级净化间，具有由墙板、顶板和双开门构成的净化间，墙板、顶板和双开门均由钢岩棉隔热夹芯板拼装而成，双开门下侧装有可伸缩的密封胶条，净化间内设置有温度调节装置和湿度调节装置，温度调节装置和湿度调节装置共同连接有主控装置，主控装置通过无线网连接有温度传感器和湿度传感器，温度传感器和湿度传感器的均匀设置在净化间内。
[0004]专利CN102347259A公开了一种超洁净微环境装置，包括装置本体、风机、气孔层和过滤板，气孔层上布置有多个气孔，风机设置在装置本体内部的侧壁上，气孔层设置在装置本体的内部，过滤板设置在装置本体的底面上。该专利将风机设置于装置本体的侧面，使得进风方式为侧面进风，因此装置适合于在双层或多层工艺腔室半导体晶圆制造设备中使用；通过特殊的气孔形状及排布设计，使得装置能够为半导体晶圆制造设备提供稳定、均匀的垂直层流。
[0005]现有技术中的微环境装置及净化间全部采用固定式大区域空间设计，温度、湿度控制很难控制，无法满足现有设备所需要的能灵活移动并应用于多种场景的洁净微环境，且造价高、施工难。

技术实现思路

[0006]针对现有技术的缺陷，本技术的目的在于提供一种可移动装配式恒温净化间，主要解决现有微环境装置均为固定式的大区域空间设计，难控温、造价高且制造困难的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供了一种可移动装配式恒温净化间，包括可移动箱体，所述箱体内设置有全局气体过滤器，所述全局气体过滤器将所述箱体分隔为上层密封腔和下层工作腔，所述上层密封腔内设置有匀化腔和集风腔，其中，所述匀化腔底部铺设有气体过滤器，所述气体过滤器用于使进入所述匀化腔的外部气流混合均匀后进入所述上层密封腔；所述上层密封腔中的一部分混合气流经由所述全局气体过滤器进入所述下层工作腔内；所述集风腔用于将所述上层密封腔中的剩余混合气流再次混合均匀，并定向输入到所述下层工作腔中的局部区域，为局部区域提供气浴微环境。
[0008]进一步的，所述匀化腔上还连接有能调控外部气流温度的外部控温系统。
[0009]进一步的，所述集风腔中设置有局部气体过滤器，用于均匀化所述集风腔中的混合气流，且所述局部气体过滤器的空气阻力小于所述全局气体过滤器的空气阻力。
[0010]进一步的，所述匀化腔设置在所述箱体的上部中央。
[0011]更进一步的，所述集风腔至少包括两个，且对称设置在所述匀化腔两侧。
[0012]进一步的，所述集风腔底部开设有集风腔出风口，用于将所述集风腔中进一步混合后的均匀气体输入到所述下层工作腔中。
[0013]进一步的，所述箱体底部四角上设置有移动装置，所述移动装置能使所述箱体在水平面移动和上下升降。
[0014]进一步的，所述移动装置包括安装板、升降结构和脚轮，所述安装板固定在所述箱体底角上，所述升降结构固定在所述安装板底面的一端上；所述脚轮固定在所述安装板底面的另一端上。
[0015]进一步的，所述箱体包括箱型骨架和面板，所述箱型骨架由铝型材制备形成，所述面板与所述箱型骨架装配配合以形成封闭箱体。
[0016]通过本技术所构思的以上技术方案，与现有技术相比，主要具备以下优点：
[0017]1、本技术提供的可移动装配式恒温净化间，上层密封腔和下层工作腔通过全局气体过滤器隔开，形成上下两部分，使得上层密封腔中的气流均能够通过全局气体过滤器的作用混合地更加均匀，从而为工作腔提供更稳定的气浴环境。
[0018]2、本技术提供的可移动装配式恒温净化间，通过在上层密封腔内设置有匀化腔和集风腔，通过匀化腔将进入其中的外部气流混合均匀，且匀化腔底部铺设有气体过滤器，该气体过滤器能使一部分混合气流再次均匀化后进入上层密封腔内，之后再经过全局气体过滤器进入下层工作腔，使得气流更加稳定、波动更小、可控性更好，从而为工作腔提供均匀稳定的气体微环境，另一部分混合气流则进入集风腔再次混合均匀后，被定向输入到下层工作腔中的局部区域，从而实现为局部区域提供具有针对性的、更均匀化的气流的效果。
[0019]3、本技术提供的可移动装配式恒温净化间，匀化腔还与外部控温系统连接，外部控温系统能调控进入匀化腔的外部气流的温度，以实现为下层工作腔提供满足一定温度条件的气浴环境的目的。
[0020]4、本技术提供的可移动装配式恒温净化间，箱体底部还设置有移动装置，移动装置包括安装板、升降结构和脚轮，安装板可拆卸地固定在箱体四角上，升降结构和脚轮分别安装在安装板下底面上，升降结构能使箱体上下升降，脚轮能使箱体在水平面移动；且上部密封腔的空间集成在箱体上，使得密封空间更贴合整体净化车间设备，从而降低了占地面积，此外，箱体的骨架和面板均为装配配合，能随意拆卸，便于内部设备的维修安装。
附图说明
[0021]图1为本技术实施例提供的可移动装配式恒温净化间整体结构示意图；
[0022]图2为本技术实施例提供的可移动装配式恒温净化间腔体结构示意图；
[0023]图3为本技术实施例提供的可移动装配式恒温净化间顶升机构结构示意图。
[0024]图中：1
‑
箱体，1
‑1‑
气体过滤器，1
‑2‑
匀化腔，1
‑3‑
匀化腔进风口，1
‑4‑
箱体骨架，1
‑5‑
面板，1
‑6‑
集风腔，1
‑7‑
集风腔出风口，1
‑8‑
全局气体过滤器，2
‑
移动装置，2
‑1‑
加固杆，2
‑2‑
安装板，2
‑3‑
升降结构，2
‑4‑
脚轮。
具体实施方式
[0025]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0026]如图1所示，为本实施例中提供的一种可移动装配式恒温净化间，包括可移动箱体1，箱体1内设置有全局气体过滤器1
‑
8，全局气体过滤器1
‑
8将箱体1分隔为上层密封腔和下层工作腔，上层密封腔内设置有匀化腔1
‑
2和集风腔1
‑
6，其中，匀化腔1
‑
2底部铺设有气体过滤器1
‑
1，气体过滤器1
‑
1用于使进入匀化腔1
‑
2的外部气流混合均匀后进入上层密封腔；上层密封腔中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可移动装配式恒温净化间，其特征在于，包括可移动箱体(1)，所述箱体(1)内设置有全局气体过滤器(1
‑
8)，所述全局气体过滤器(1
‑
8)将所述箱体(1)分隔为上层密封腔和下层工作腔，所述上层密封腔内设置有匀化腔(1
‑
2)和集风腔(1
‑
6)，其中，所述匀化腔(1
‑
2)底部铺设有气体过滤器(1
‑
1)，所述气体过滤器(1
‑
1)用于使进入所述匀化腔(1
‑
2)的外部气流混合均匀后进入所述上层密封腔；所述上层密封腔中的一部分混合气流经由所述全局气体过滤器进入所述下层工作腔内；所述集风腔(1
‑
6)用于将所述上层密封腔中的剩余混合气流再次混合均匀，并定向输入到所述下层工作腔中的局部区域，为局部区域提供气浴微环境。2.如权利要求1所述的一种可移动装配式恒温净化间，其特征在于，所述匀化腔(1
‑
2)上还连接有能调控外部气流温度的外部控温系统。3.如权利要求2所述的一种可移动装配式恒温净化间，其特征在于，所述集风腔(1
‑
6)中设置有局部气体过滤器，用于均匀化所述集风腔(1
‑
6)中的混合气流，且所述局部气体过滤器的空气阻力小于所述全局气体过滤器(1
‑
8)的空气阻力。4.如权利要求1所述的一种可移动装配式恒温净化间，其特征在于，所述匀化腔(1

【专利技术属性】
技术研发人员：李小平，任振，汪庆，
申请(专利权)人：武汉微环控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：