二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件及制备方法，涉及分束器件技术领域。二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件包括至下而上依次层叠设置的石英基底、过渡金属层和二氧化钛结构组，二氧化钛结构组包括分束方向不同的多个微结构单元。本发明专利技术实施例的偏振分束器件，相较于传统的偏振分束器件，提出将偏振元件分成若干区域，不同区域对入射光具有不同方向的偏振响应，最终在远场目标位置获得所需的偏振分束效果，可将激光光束分裂成多个光束，打破了衍射公式的周期限制，可实现基于入射偏振的特定偏振分束，基于类似光栅的相结构，将光束衍射成离散的阶数，这与传统的分束不同，具有更好的分束效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及分束器件，尤其是涉及一种二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件及制备方法。

技术介绍

1、传统的分束方法中，光被分成两束：一束反射光和一束转移光。传统的分束器基于反射原理，一部分光束被反射，而其余光束在原来的轨迹上延伸，此方法因结构因素，一次只能在一个方向实现分束，分束效果不佳。

技术实现思路

1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出了一种二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件及制备方法，具有较好的分束效果。

2、一方面，根据本专利技术实施例的二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件，包括至下而上依次层叠设置的石英基底、过渡金属层和二氧化钛结构组，所述二氧化钛结构组包括分束方向不同的多个微结构单元。

3、根据本专利技术的一些实施例，所述二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件还包括设置于所述二氧化钛结构组表面的增透膜。

4、根据本专利技术的一些实施例，所述二氧化钛结构组包括四个所述微结构单元，分别为第一微结构单元、第二微结构单元、第三微结构单元本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件，其特征在于，包括至下而上依次层叠设置的石英基底、过渡金属层和二氧化钛结构组，所述二氧化钛结构组包括分束方向不同的多个微结构单元。

2.根据权利要求1所述的二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件，其特征在于，所述二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件还包括设置于所述二氧化钛结构组表面的增透膜。

3.根据权利要求1所述的二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件，其特征在于，所述二氧化钛结构组包括四个所述微结构单元，分别为第一微结构单元、第二微结构单元、第三微结构单元和第四微结构单元，每个所述微结构单元包括多个矩形柱，所述第一微结构单元的多...

【技术特征摘要】

1.一种二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件，其特征在于，包括至下而上依次层叠设置的石英基底、过渡金属层和二氧化钛结构组，所述二氧化钛结构组包括分束方向不同的多个微结构单元。

2.根据权利要求1所述的二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件，其特征在于，所述二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件还包括设置于所述二氧化钛结构组表面的增透膜。

3.根据权利要求1所述的二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件，其特征在于，所述二氧化钛结构组包括四个所述微结构单元，分别为第一微结构单元、第二微结构单元、第三微结构单元和第四微结构单元，每个所述微结构单元包括多个矩形柱，所述第一微结构单元的多个所述矩形柱按照沿对角线对称的形式排布，所述第二微结构单元的多个所述矩形柱按照左右对称的形式排布，所述第三微结构单元的多个所述矩形柱按照沿反对角线对称的形式排布，所述第四微结构单元的多个所述矩形柱按照上下对称的形式排布。

4.根据权利要求3所述的二氧化钛石英复合结构的偏振分束器件，其特征在于，所述第一微结构单元和所述第三微结构单元的线宽变量为2.3um，分束角度为16度；所述第二微结构单元和所述第四微结构单元的线宽变量为3...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏良平，王奥博，张为国，王乡，杜春雷，刘文明，
申请(专利权)人：珠海迈时光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：