【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅用籽晶生产，特别涉及一种单晶硅锥形籽晶成形掏棒装置。
技术介绍
1、籽晶是具有和所需晶体相同晶向，并由机械方法加工而成的小尺寸晶体，是生长单晶的种子，用不同晶向的籽晶做晶种，会获得不同晶向的单晶。随着太阳能产业和半导体产业的快速发展，太阳能电池用直拉法单晶硅棒生产和及半导体硅晶圆用直拉法单晶硅棒生产市场规模也在不断扩充。单晶硅棒在制备过程中需要用到锥形籽晶作为母体，以引导并承载单晶硅棒长晶生长，是影响单晶硅棒质量的重要载体。现有技术中，采用如下方法加工籽晶；将单晶硅硅块固定在晶托上，且将粘好的单晶硅硅块放置于晶向测量仪上进行晶向的定向；将定向好的单晶硅硅块安装于钻床上进行机加工，加工成柱状的籽晶大径头、圆锥状的连接部以及籽晶小径体，且籽晶大径头、连接部以及小径体之间一体成型，得到籽晶的初制品；从钻床上取下初制品后将其安装于倒角设备上进行倒角；将倒角后的籽晶制品置于磨床、抛光设备上进行机械加工得到籽晶成品；将籽晶成品置于清洗机中进行一次清洗，洗去表面的油污后再进行二次清洗，洗去表面的氧化物后再进行三次清洗，洗去其表面的污水...
【技术保护点】
1.一种单晶硅锥形籽晶成形掏棒装置，该装置用于对粘接在外界的硅块安装座上的单晶硅硅块进行加工，以获得籽晶大径头、连接部以及籽晶小径体之间一体成型的籽晶初制品，包括：承载台、纵向升降装置、掏钻装置及控制装置，纵向升降装置固定在承载台上，且纵向升降装置与承载台垂直；掏钻装置与纵向升降装置的升降端固定连接，纵向升降装置的升降端带动掏钻装置在承载台上方进行上、下移动，及通过旋转对承载台上的单晶硅硅块进行掏钻；其特征在于：掏钻装置包括支撑架、钻头驱动装置、水冷式传动装置、与所述籽晶初制品形状相对应的中空金刚石刀头刀具，金刚石刀头的端部具有用于排水的缺口，支撑架一端与纵向升降装置...
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅锥形籽晶成形掏棒装置，该装置用于对粘接在外界的硅块安装座上的单晶硅硅块进行加工，以获得籽晶大径头、连接部以及籽晶小径体之间一体成型的籽晶初制品，包括：承载台、纵向升降装置、掏钻装置及控制装置，纵向升降装置固定在承载台上，且纵向升降装置与承载台垂直；掏钻装置与纵向升降装置的升降端固定连接，纵向升降装置的升降端带动掏钻装置在承载台上方进行上、下移动，及通过旋转对承载台上的单晶硅硅块进行掏钻；其特征在于：掏钻装置包括支撑架、钻头驱动装置、水冷式传动装置、与所述籽晶初制品形状相对应的中空金刚石刀头刀具，金刚石刀头的端部具有用于排水的缺口，支撑架一端与纵向升降装置固定连接，钻头驱动装置、水冷式传动装置固定在支撑架上，且钻头驱动装置位于水冷式传动装置的上方，水冷式传动装置具有一个用于与钻头驱动装置的旋转端固定连接主动传动轴及至少一个从动传动轴，且水冷式传动装置上设置有冲洗循环水进入口，主动传动轴与从动传动轴之间采用啮合方式传动，主动传动轴、从动传动轴内部具有水流通道，且主动传动轴、从动传动轴的水流通道与水冷式传动装置上的冲洗循环水进入口连通，主动传动轴、从动传动轴的下端都对应的与一个中空金刚石刀头刀具固定连接，且中空金刚石刀头刀具与其对应固定连接的传动轴的水流通道连通，水冷式传动装置上的冲洗循环水进入口引导外界高压冷却水依次进入主动传动轴、从动传动轴的水流通道及对应的中空金刚石刀头刀的内部及从金刚石刀头的端部的缺口排出，以利用冲洗循环水流过水冷式传动装置、中空金刚石刀头刀具内部时，将水冷式传动装置、中空金刚石刀头刀具上的热量带走。
2.如权利要求1所述的单晶硅锥形籽晶成形掏棒装置，其特征在于：承载台包括底座及垂直设置在底座上的固定架，纵向升降装置包括升降电机、升降螺母、升降丝杆，升降螺母的内螺纹与升降丝杆的外螺纹相配合，升降电机固定在承载台的固定架上，升降丝杆一端与升降电机的转轴固定连接，升降螺母套设在升降丝杆，且升降螺母与掏钻装置固定连接。
3.如权利要求2所述的单晶硅锥形籽晶成形掏棒装置，其特征在于：升降螺母与掏钻装置的支撑架固定连接。
4.如权利要求1所述的单晶硅锥形籽晶成形掏棒装置，其特征在于：纵向升降装置还包括引导轨、定位滑槽，引导轨固定在承载台的固定架上，且与升降丝杆平行，定位滑槽与掏钻装置的支撑架固定连接，且...
【专利技术属性】
技术研发人员：范占军，盛旺，盛之林，白宇峰，冯建宁，曹永柱，潘腾，李进德，
申请(专利权)人：宁夏高创特能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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