一种垂直腔面发射激光芯片的测试装置制造方法及图纸

本技术提供的一种垂直腔面发射激光芯片的测试装置，涉及激光与光电子技术领域，包括：工作台，所述工作台的顶部焊接工作框，所述工作框的顶部开设移动槽，所述移动槽的内表壁活动插设螺纹杆，所述移动槽的内壁一侧固定插设伺服电机，在伺服电机和螺纹杆调整移动块位置的时候，芯片左右运动，电极上下运动，结构简单，互不干涉，并且将芯片移动到银触点的底部时，带有银触点的电极可以有效减少接触阻抗，配合四线法就近引出电流加载线和电压测试线，可以有效提高电压测量精度，从而达到了可以批量加载芯片，通过一维运动，依次完成每颗芯片的测量，提高了芯片测试的效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光与光电子，尤其涉及一种垂直腔面发射激光芯片的测试装置。

技术介绍

1、垂直腔面发射半导体激光器（简称vcsel）的基本原理，是利用外延生长的方式，在垂直于衬底的方向上，依次生长出反射型dbr、量子阱有源区、输出型dbr，进而构成波长量级的谐振腔，实现激光的增益和输出的一种半导体激光器，而cos封装的vcsel芯片在出厂之前往往需要进行测试，以获取芯片的电学与光学参数，包括电压、电流、光功率、波长等主要参数，以保证芯片的质量，满足产量需求。

2、但现有技术中，对于芯片的测试方法都是人工进行测试，通过将芯片放在电极和积分球的下方，再通过光纤光谱仪、光功率计将数据传输到计算机上，进行分析，而人工测试的方法效率低下，不适合标准化工业化生产，因此，需要提出新型的一种垂直腔面发射激光芯片的测试装置。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中对于芯片的测试方法都是人工进行测试，通过将芯片放在银触点和积分球的下方，再通过光纤光谱仪、光功率计将数据传输到计算机上，进行分析，而人工测试的方法效本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种垂直腔面发射激光芯片的测试装置，其特征在于：包括工作台（1），所述工作台（1）的顶部焊接工作框（2），所述工作框（2）的顶部开设移动槽（3），所述移动槽（3）的内表壁活动插设螺纹杆（5），所述移动槽（3）的内壁一侧固定插设伺服电机（4），且伺服电机（4）的输出端与螺纹杆（5）的输出端固定连接，所述螺纹杆（5）的外表壁旋转套设移动块（6），所述移动块（6）的顶部固定安装恒温载板（7），所述恒温载板（7）的顶部固定安装导热垫片（8），所述导热垫片（8）的顶部固定安装定位模具（9），所述工作台（1）的顶部固定安装推拉式电磁铁（10），所述推拉式电磁铁（10）的顶部固定安装绝缘固定塑料（...

【技术特征摘要】

1.一种垂直腔面发射激光芯片的测试装置，其特征在于：包括工作台（1），所述工作台（1）的顶部焊接工作框（2），所述工作框（2）的顶部开设移动槽（3），所述移动槽（3）的内表壁活动插设螺纹杆（5），所述移动槽（3）的内壁一侧固定插设伺服电机（4），且伺服电机（4）的输出端与螺纹杆（5）的输出端固定连接，所述螺纹杆（5）的外表壁旋转套设移动块（6），所述移动块（6）的顶部固定安装恒温载板（7），所述恒温载板（7）的顶部固定安装导热垫片（8），所述导热垫片（8）的顶部固定安装定位模具（9），所述工作台（1）的顶部固定安装推拉式电磁铁（10），所述推拉式电磁铁（10）的顶部固定安装绝缘固定塑料（11），所述绝缘固定塑料（11）的背表面和正表面分别设置弹性铜片（12）和两个电极铜片（13），两个所述电极铜片（13）的底部均固定安装银触点（14），所述工作台（1）的顶部固定安装支架（15），且支架（15）的外表壁与弹性铜片（12）固定连接，所述支架（15）的内表壁固定安装运动控制器（16）、光功率计（17）和光纤光谱仪（18），所述工作台（1）的顶部放置主机（19）和显示屏（20），所述支架（15）的外表壁固定安装积分球（21）。

2.根据权利要求1所述的一种垂直腔面发射激光芯片的测试装置，其特征在于：所述积分球（21）分别与光功率计（17）和光纤光谱仪（18）电性连接，两个所述电极铜片（13）通过信号线与主机（19）电性连接，所述伺服电机（4）与运动控制器（16）电性连接，所述光功率...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐冰，李俭清，
申请(专利权)人：山东芯源光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：