【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造,具体而言,涉及一种半导体器件制造方法及半导体器件。
技术介绍
1、在晶圆的制造生产过程中,需要将待制程的晶圆送入晶圆制程工厂,利用工厂中晶圆制造设备进行制程。但是,晶圆制造设备的硬件设备与晶圆尺寸相关性极高,6寸晶圆线设备大多数只兼容6寸晶圆的制造,8寸晶圆线设备大多数只兼容8寸晶圆的制造。
2、现有技术中,并没有将晶圆线设备与不同尺寸的待制程的晶圆相兼容的相关方法,因此无法充分利用晶圆制造设备实现通用晶圆制造。
技术实现思路
1、本申请的目的在于,针对上述现有技术中的不足,提供一种半导体器件制造方法及半导体器件,以解决现有技术中晶圆尺寸和晶圆线设备不兼容的问题。
2、为实现上述目的,本申请采用的技术方案如下:
3、第一方面,本申请提供了一种半导体器件制造方法,包括:
4、将晶圆基座上的目标区域进行减薄;
5、在所述目标区域上布设粘贴材料;
6、将待制程晶圆附着至所述粘贴材料上,并对所述待制程晶圆
...【技术保护点】
1.一种半导体器件制造方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的半导体器件制造方法,其特征在于,所述目标区域的直径大于所述待制程晶圆的直径。
3.根据权利要求2所述的半导体器件制造方法,其特征在于,所述对所述待制程晶圆进行制程之后,还包括:
4.根据权利要求1所述的半导体器件制造方法,其特征在于,所述目标区域的直径与所述待制程晶圆的直径相同。
5.根据权利要求4所述的半导体器件制造方法,其特征在于,所述对所述待制程晶圆进行制程之后,还包括:
6.根据权利要求1所述的半导体器件制造方法,其特征在于,所述
...【技术特征摘要】
1.一种半导体器件制造方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的半导体器件制造方法,其特征在于,所述目标区域的直径大于所述待制程晶圆的直径。
3.根据权利要求2所述的半导体器件制造方法,其特征在于,所述对所述待制程晶圆进行制程之后,还包括:
4.根据权利要求1所述的半导体器件制造方法,其特征在于,所述目标区域的直径与所述待制程晶圆的直径相同。
5.根据权利要求4所述的半导体器件制造方法,其特征在于,所述对所述待制程晶圆进行制程之后,还包括:
6.根据权利要求1所述的半导体器件制造方法...
【专利技术属性】
技术研发人员:周科,胡强,黄庆波,封明辉,丁要琼,孟繁新,岳兰,
申请(专利权)人:成都高投芯未半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:
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