一种压电式MEMS麦克风、封装方法、压电陶瓷的制备方法技术

技术编号：42689226 阅读：34 留言：0更新日期：2024-09-10 12:38

一种压电式MEMS麦克风、封装方法、压电陶瓷的制备方法，所述麦克风包括：基底，环形构造以围设成第一音腔；第一压电振膜，为包括压电膜的三角形悬臂梁结构，底边固定于所述基底且三角形的尖端为自由端；第二压电振膜，通过圆形沟槽结构在所述三角形悬臂梁结构的底边区域分隔而出的独立振膜区域；封装壳体，容纳和固定所述基底、第一压电振膜和第二压电振膜，且与所述基底之间围设出第二音腔。本发明专利技术通过在KNN溶胶中加入过量K、Na元素以补偿后续挥发，配合Mn掺杂，有效避免了漏电流现象；本发明专利技术通过两种压电薄膜面积，保证灵敏度曲线在所述KNN压电薄膜的谐振频率有一个波动范围，从而提高谐振频率，进而提高灵敏度。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于声电转换，具体涉及一种压电式mems麦克风、封装方法、压电陶瓷的制备方法。

技术介绍

1、mems麦克风已被广泛应用于移动计算机、智能手机、耳机等消费电子产品领域。传统的mems麦克风主要为电容式麦克风。但是其采用双层膜的设计，无法避免背极与振膜之间的空气阻尼问题，会影响麦克风的信噪比。压电麦克风制备工艺简单，采用单层膜的设计可以避免背板与空气阻尼带来的影响，提高其信噪比，但是在灵敏度方面不及电容式麦克风。

2、压电mems麦克风是一种声电转换领域的mems器件，可以将声音信号通过不同的方式转换为电信号，其基本原理是利用压电效应将声音信号转换为电信号的能量转换器件。压电麦克风的压电薄膜通常采用常用的有pzt/zno/aln等。长期以来，锆钛酸铅(pzt)基压电材料因其优异的压电性能和较高的居里温度(tc)而崭露头角，广泛应用于各种电子器件中，占据了压电材料市场的主导地位，但其含有高达60％的铅元素。从经济和社会可持续发展的角度来看，铅元素及其相关化学物质在煅烧、烧结和后期处理过程中不可避免地会释放出来，对环境和...

【技术保护点】

1.一种压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述麦克风包括：

2.如权利要求1所述的一种压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述第二压电振膜的形状为圆形。

3.如权利要求1所述的一种压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述沟槽结构的压电膜片通过绝缘层局部连接支撑。

4.如权利要求1所述的一种压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述基底包括四边形腔体。

5.如权利要求4所述的一种压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述第一压电振膜的数量为四个且尖端相对拼合为四边形，所述第一压电振膜的面积之和小于所述四边形腔体的顶部面积。