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一种压电式MEMS麦克风、封装方法、压电陶瓷的制备方法,所述麦克风包括:基底,环形构造以围设成第一音腔;第一压电振膜,为包括压电膜的三角形悬臂梁结构,底边固定于所述基底且三角形的尖端为自由端;第二压电振膜,通过圆形沟槽结构在所述三角形悬臂梁...该专利属于国网智能电网研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过国网智能电网研究院有限公司授权不得商用。
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一种压电式MEMS麦克风、封装方法、压电陶瓷的制备方法,所述麦克风包括:基底,环形构造以围设成第一音腔;第一压电振膜,为包括压电膜的三角形悬臂梁结构,底边固定于所述基底且三角形的尖端为自由端;第二压电振膜,通过圆形沟槽结构在所述三角形悬臂梁...